Покрытие из карбида кремния

Несущая пластина из карбида кремния Veteksemicon для травления светодиодов, специально разработанная для производства светодиодных чипов, является основным расходным материалом в процессе травления. Изготовленный из прецизионно спеченного карбида кремния высокой чистоты, он обеспечивает исключительную химическую стойкость и стабильность размеров при высоких температурах, эффективно сопротивляясь коррозии, вызываемой сильными кислотами, основаниями и плазмой. Его свойства низкого загрязнения обеспечивают высокую производительность при изготовлении эпитаксиальных пластин светодиодов, а его долговечность, значительно превосходящая долговечность традиционных материалов, помогает клиентам снизить общие эксплуатационные расходы, что делает его надежным выбором для повышения эффективности и стабильности процесса травления.

Кольцо фокусировки Veteksemi из твердого SiC значительно улучшает однородность травления и стабильность процесса за счет точного контроля электрического поля и потока воздуха на краю пластины. Он широко используется в процессах прецизионного травления кремния, диэлектриков и сложных полупроводниковых материалов и является ключевым компонентом для обеспечения производительности массового производства и долгосрочной надежной работы оборудования.

Графитовая насадка для душа с покрытием CVD SIC от Veteksemicon представляет собой высокопроизводительный компонент, специально разработанный для процессов полупроводникового химического отложения пара (CVD). Произведенная из графита высокой чистоты и защищено химическим осаждением пары (CVD) кремниевого карбида (SIC), эта головка душа обеспечивает выдающуюся долговечность, тепловую стабильность и сопротивление газам коррозийного процесса. С нетерпением жду вашей дальнейшей консультации.

Кремниевый карбид, обладающий пластинкой, с помощью Veteksemicon, разработан для точности и производительности в расширенных полупроводниковых процессах, таких как MoCVD, LPCVD и высокотемпературное отжиг. С помощью равномерного покрытия CVD SIC этот держатель пластин обеспечивает исключительную теплопроводность, химическую инертность и механическую прочность-необходимый для непрерывной обработки высокодоходной пластины.

Veteksemicon High Purithy SIC Edge Rings, специально разработанные для полупроводникового травления, имеют выдающуюся коррозионную стойкость и тепловую стабильность, что значительно увеличивает доход пластины

Будучи ведущим китайским производителем и поставщиком изделий из карбида из карбида кремния, носитель пластин с покрытием SIC Veteksemicon для травления играет незаменимую основную роль в процессе травления с его превосходной высокотемпературной стабильностью, выдающейся коррозионной устойчивостью и высокой теплопроводности.