Кольцо фокусировки из карбида кремния

Общая информация о продукте

Условия сотрудничества с продуктом

Приложение: В процессах сухого травления полупроводников кольцо фокусировки является ключевым компонентом, обеспечивающим однородность процесса. Он плотно окружает пластину и, точно контролируя распределение плазмы по краям пластины, напрямую определяет однородность и постоянство процесса травления, что делает его незаменимой частью гарантии выхода чипа.

Услуги, которые могут быть предоставлены: анализ сценариев применения клиента, подбор материалов, решение технических проблем.

Профиль компании: Ветексемикон имеет 2 лаборатории, команду экспертов с 20-летним опытом работы с материалами, обладающую возможностями исследований и разработок, а также производства, тестирования и проверки.

Технические параметры

Основные преимущества кольца фокусировки Мой соперник

1. Исключительное материаловедение, созданное для суровых условий

Выбранный нами карбид кремния высокой чистоты и высокой плотности легко выдерживает интенсивную плазменную бомбардировку и фторсодержащую химическую газовую коррозию во время процесса травления SiC. Его превосходная коррозионная стойкость напрямую приводит к увеличению срока службы и снижению частоты замены компонентов, что не только сокращает время простоя оборудования, но и значительно снижает риск загрязнения частицами, вызванного износом компонентов, обеспечивая долгосрочную и стабильную комплексную экономическую эффективность.

2. Точный инженерный проект обеспечивает согласованность процесса.

Каждое кольцо фокусировки Veteksemicon подвергается сверхточной обработке на станке с ЧПУ, чтобы гарантировать, что ключевые размеры, такие как плоскостность, внутренний диаметр и высота ступеньки, достигают точности микронного уровня, обеспечивая идеальное соответствие оригинальному оборудованию (OEM). Наша команда инженеров дополнительно оптимизирует профиль с помощью моделирования плазмы. Такая конструкция эффективно направляет электрическое поле, уменьшая аномальное травление по краям пластины и, таким образом, доводя до предельного уровня однородность травления всей пластины.

3. Надежная работа повышает эффективность производства.

В сложных условиях массового производства реализуется вся ценность нашей продукции. Обеспечивая концентрированное и стабильное распределение плазмы, кольцо фокусировки Veteksemicon напрямую способствует повышению однородности скорости травления и оптимизации повторяемости процесса от партии к партии. Это означает, что ваша производственная линия может стабильно выпускать продукцию с высоким выходом, а также получать выгоду от более длительных циклов технического обслуживания, что эффективно снижает затраты на расходные материалы на пластину и дает вам значительное конкурентное преимущество.

4. Подтверждение проверки экологической цепочки

Проверка экологической цепочки фокус-ринга Veteksemicon охватывает сырье и производство, прошла сертификацию по международным стандартам и имеет ряд запатентованных технологий, обеспечивающих ее надежность и устойчивость в области полупроводников и новой энергетики.

Для получения подробных технических спецификаций, официальных документов или организации образцовых испытаний свяжитесь с нашей командой технической поддержки, чтобы узнать, как Veteksemicon может повысить эффективность вашего процесса.

Магазин продукции Ветексемикон