Кольцо фокусировки из твердого карбида кремния

6.Основные области применения

7. Преимущества сердечника фокусировочного кольца Veteksemi из твердого карбида кремния

Отличная стойкость к плазменной коррозии.

При длительном воздействии агрессивной плазмы высокой плотности, такой как CF4, O2 и Cl2, обычные материалы подвержены быстрому износу и загрязнению частицами. Наше кольцо фокусировки из твердого карбида кремния демонстрирует превосходную коррозионную стойкость, при этом скорость коррозии намного ниже, чем у таких материалов, как кварц или оксид алюминия. Это означает, что поверхность остается гладкой с течением времени, что значительно снижает риск дефектов пластин, вызванных износом компонентов, обеспечивая непрерывное и стабильное массовое производство.

Превосходная стабильность при высоких температурах и эффективность управления температурным режимом.

Процесс травления полупроводников выделяет значительное количество тепла, в результате чего компоненты камеры испытывают резкие колебания температуры. Наши кольца фокусировки имеют чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения и способны выдерживать переходные температуры до 1600°C без растрескивания и деформации. Кроме того, присущая им высокая теплопроводность помогает равномерно и быстро рассеивать тепло, эффективно улучшая распределение температуры по краю пластины, тем самым улучшаяобеспечение однородности травления и постоянства критических размеров по всей пластине.

Исключительная чистота материала и структурная плотность

Мы строго контролируем чистоту сырья карбида кремния (≥99,999%) и устраняем металлические загрязнения в процессе спекания, чтобы соответствовать строгим требованиям передовых производственных процессов по контролю следовых примесей. Плотная структура, образующаяся в результате высокотемпературного спекания, имеет чрезвычайно низкую пористость, практически полностью блокируя проникновение технологических газов и побочных продуктов. Это предотвращает ухудшение производительности и рост частиц, вызванный внутренней деградацией материала, обеспечивая чистоту окружающей среды в технологической камере.

Длительный механический срок службы и комплексная экономическая эффективность

По сравнению с обычными расходными материалами, требующими частой замены, кольца фокусировки Veteksemi из твердого карбида кремния обладают исключительной долговечностью. Они сохраняют стабильные характеристики на протяжении всего срока службы, продлевая циклы замены в несколько раз. Это не только напрямую снижает затраты на закупку запасных частей, но и значительно улучшает использование оборудования за счет сокращения времени простоя оборудования на техническое обслуживание, что приводит к значительному снижению общих затрат для клиентов.

Точный контроль размера и гибкие услуги по настройке.

Мы понимаем точные требования различных машин и процессов к расходным материалам. Каждое кольцо фокусировки подвергается точной механической обработке и строгим испытаниям, чтобы обеспечить критические допуски на размеры в пределах ±0,05 мм. Мы также предлагаем индивидуальные услуги, включая нестандартные размеры, обработку поверхности (полировка до Ra ≤ 0,2 мкм) и регулировку проводимости, чтобы идеально соответствовать вашим конкретным технологическим требованиям и сценариям применения.

Для получения подробных технических спецификаций, официальных документов или образцов процедур тестирования свяжитесь с нашей командой технической поддержки, чтобы узнать, как Veteksemi может повысить эффективность вашего процесса.