Графитовый токоприемник с покрытием SiC для ASM

Общая информация о продукте

Условия сотрудничества с продуктом

✔ Приложение: Графитовая подложка с покрытием Veteksemicon SiC является ключевым расходным материалом для эпитаксиального оборудования серии ASM. Он непосредственно поддерживает пластину и обеспечивает однородное и стабильное тепловое поле во время высокотемпературной эпитаксии, что делает его основным компонентом для обеспечения высококачественного роста современных полупроводниковых материалов, таких как GaN и SiC.

✔ Услуги, которые могут быть предоставлены: анализ сценариев применения клиента, подбор материалов, решение технических проблем. 

✔ Профиль компании:Ветексемикон имеет 2 лаборатории, команду экспертов с 20-летним опытом работы с материалами, обладающую возможностями исследований и разработок, а также производства, тестирования и проверки.

Технические параметры

Графитовый токоприемник с покрытием Veteksemicon SiC для преимуществ сердечника ASM

1. Чрезвычайная чистота и низкий процент дефектов.

Используя специальную графитовую подложку высокой чистоты с мелкими частицами в сочетании со строго контролируемым процессом химического осаждения из паровой фазы (CVD), мы гарантируем, что покрытие будет плотным, без пор и примесей. Это значительно снижает риск загрязнения частицами во время эпитаксиального процесса, обеспечивая чистую среду подложки для роста высококачественных эпитаксиальных слоев.

2. Отличная коррозионная стойкость и износостойкость.

Пиролитическое покрытие из карбида кремния обладает чрезвычайно высокой твердостью и химической инертностью, эффективно сопротивляясь эрозии источников кремния (таких как SiH4, SiHCl3), источников углерода (таких как C3H8) и травильных газов (таких как HCl, H2) при высоких температурах. Это существенно продлевает цикл обслуживания базы и сокращает время простоя техники, вызванное заменой комплектующих.

3. Превосходная термическая однородность и стабильность.

Мы оптимизировали распределение теплового поля в диапазоне рабочих температур за счет точного проектирования структуры подложки и контроля толщины покрытия. Это напрямую приводит к превосходной однородности толщины и удельного сопротивления эпитаксиальной пластины, что способствует повышению производительности производства чипов.

4. Отличная адгезия покрытия.

Уникальная технология предварительной обработки поверхности и градиентного покрытия позволяет покрытию из карбида кремния образовывать прочный связующий слой с графитовой подложкой, эффективно предотвращая проблемы отслаивания, отслаивания или растрескивания покрытия, которые могут возникнуть во время длительного термоциклирования.

5. Точный размер и структурное копирование.

Мы обладаем развитыми возможностями обработки и тестирования на станках с ЧПУ, что позволяет нам полностью воспроизводить сложную геометрию, размеры полостей и монтажные интерфейсы исходного основания, обеспечивая идеальное соответствие и функциональность Plug-and-Play с платформой клиента.

6. Подтверждение проверки экологической цепочки

Графитовый токоприемник Veteksemicon с SiC-покрытием для проверки экологической цепочки ASM охватывает сырье и производство, прошел сертификацию по международным стандартам и имеет ряд запатентованных технологий, обеспечивающих его надежность и устойчивость в полупроводниковой и новой энергетической областях.

Для получения подробных технических спецификаций, официальных документов или организации образцовых испытаний свяжитесь с нашей командой технической поддержки, чтобы узнать, как Veteksemicon может повысить эффективность вашего процесса.

Основные области применения

Магазин продукции Ветексемикон