Покрытие из карбида кремния

CVD SIC SIC Pempector-это передовое решение для полупроводниковых эпитаксиальных процессов, предлагающих ультра-высокую чистоту (≤100ppb, сертифицированные ICP-E10) и исключительную термическую/химическую стабильность для резистентного роста GAN, SIC и Silicon. Инженерный с точной технологией CVD, он поддерживает 6 ”/8”/12 ”, обеспечивает минимальное тепловое напряжение и выдерживает экстремальные температуры до 1600 ° C.

Наш планетарный Presceptor, покрытый SIC, является основным компонентом в процессе высокой температуры производства полупроводников. Его конструкция объединяет графитовую субстрат с кремниевым карбидным покрытием для достижения комплексной оптимизации производительности теплового управления, химической стабильности и механической прочности.

Наше герметизирующее кольцо с покрытием SIC для эпитаксии представляет собой высокопроизводительный герметизирующий компонент, основанный на графитовых или углеродных композитах, покрытых высокочислительным кремниевым карбидом (SIC) химическим осаждением пара (CVD), который сочетает в себе термическую стабильность графита с экстремальной экологической сопротивлением SIC и предназначена для полуксадочного оборудования (E.G.

Veteksemicon Single Pafer Epi Graphite Pespector предназначен для высокопроизводительного карбида кремниевого карбида (SIC), нитрида галлия (GAN) и других полупроводниковых процессов третьего поколения и является основным компонентом подшипника высокопрофильного эпитаксиального листа в массовом производстве. Вы можете получить дальнейшее расследование.

Важным компонентом, используемым в процессе травления изготовления пластин, является кольцо в области травления в плазме, функция которого состоит в том, чтобы удерживать пластин на месте для поддержания плотности плазмы и предотвращения загрязнения боковых сторон пластин.

Vetek Semiconductor является ведущим производителем и поставщиком электронных Chucks SIC в Китае. EC-Chuck SIC E-Chuck специально разработан для процесса травления Gan Wafer, с отличной производительностью и долгом сроком службы, чтобы обеспечить всестороннюю поддержку вашего производства полупроводников. Наша сильная способность обработки позволяет нам предоставить вам Ceramic Ceramic Pemptor, который вы хотите. С нетерпением жду вашего запроса.