Покрытие из карбида кремния

Veteksemicon High Purithy SIC Edge Rings, специально разработанные для полупроводникового травления, имеют выдающуюся коррозионную стойкость и тепловую стабильность, что значительно увеличивает доход пластины

Будучи ведущим китайским производителем и поставщиком изделий из карбида из карбида кремния, носитель пластин с покрытием SIC Veteksemicon для травления играет незаменимую основную роль в процессе травления с его превосходной высокотемпературной стабильностью, выдающейся коррозионной устойчивостью и высокой теплопроводности.

CVD SIC SIC Pempector-это передовое решение для полупроводниковых эпитаксиальных процессов, предлагающих ультра-высокую чистоту (≤100ppb, сертифицированные ICP-E10) и исключительную термическую/химическую стабильность для резистентного роста GAN, SIC и Silicon. Инженерный с точной технологией CVD, он поддерживает 6 ”/8”/12 ”, обеспечивает минимальное тепловое напряжение и выдерживает экстремальные температуры до 1600 ° C.

Наш планетарный Presceptor, покрытый SIC, является основным компонентом в процессе высокой температуры производства полупроводников. Его конструкция объединяет графитовую субстрат с кремниевым карбидным покрытием для достижения комплексной оптимизации производительности теплового управления, химической стабильности и механической прочности.

Наше герметизирующее кольцо с покрытием SIC для эпитаксии представляет собой высокопроизводительный герметизирующий компонент, основанный на графитовых или углеродных композитах, покрытых высокочислительным кремниевым карбидом (SIC) химическим осаждением пара (CVD), который сочетает в себе термическую стабильность графита с экстремальной экологической сопротивлением SIC и предназначена для полуксадочного оборудования (E.G.

Veteksemicon Single Pafer Epi Graphite Pespector предназначен для высокопроизводительного карбида кремниевого карбида (SIC), нитрида галлия (GAN) и других полупроводниковых процессов третьего поколения и является основным компонентом подшипника высокопрофильного эпитаксиального листа в массовом производстве. Вы можете получить дальнейшее расследование.