Детали приемника EPI

Общая информация о продукте

Условия сотрудничества с продуктом

✔ Приложение: В стремлении к максимальной производительности и производительности в процессах эпитаксиального карбида кремния Veteksemicon EPI Susceptor обеспечивает превосходную термическую стабильность и однородность, становясь ключевым фактором повышения производительности силовых и радиочастотных устройств и снижения общих затрат.

✔ Услуги, которые могут быть предоставлены: анализ сценариев применения клиента, подбор материалов, решение технических проблем. 

✔ Профиль компании:Ветексемикон имеет 2 лаборатории, команду экспертов с 20-летним опытом работы с материалами, обладающую возможностями исследований и разработок, а также производства, тестирования и проверки.

Основные преимущества Veteksemicon EPI Contractor Part

1. Обеспечьте максимальную однородность

В эпитаксиальных процессах карбида кремния даже микронные колебания толщины и неоднородности легирования напрямую влияют на производительность и производительность конечного устройства. Veteksemicon EPI Susceptor обеспечивает оптимальное распределение теплового поля внутри реакционной камеры за счет точного термодинамического моделирования и структурного проектирования. Наш выбор подложки с высокой теплопроводностью в сочетании с уникальным процессом обработки поверхности гарантирует, что разница температур в любой точке поверхности пластины контролируется в чрезвычайно небольшом диапазоне даже при высокой скорости вращения и в высокотемпературных средах. Непосредственным преимуществом этого является получение высоковоспроизводимого эпитаксиального слоя от партии к партии с превосходной однородностью, закладывающего прочную основу для производства высокопроизводительных и стабильных силовых чипов.

2. Сопротивление воздействию высоких температур

Эпитаксиальные процессы SiC обычно требуют длительной работы при температурах, превышающих 1500°C, что представляет собой серьезную проблему для любого материала. В Veteksemicon Susceptor используется специально обработанный изостатически прессованный графит, чья прочность на изгиб при высоких температурах и сопротивление ползучести намного превосходят показатели обычного графита. Даже после сотен часов непрерывного высокотемпературного термоциклирования наш продукт сохраняет свою первоначальную геометрию и механическую прочность, эффективно предотвращая коробление, проскальзывание или загрязнение технологической полости пластины, вызванное деформацией лотка, что существенно обеспечивает непрерывность и безопасность производственной деятельности.

3. Максимизируйте стабильность процесса

Перебои в производстве и незапланированное техническое обслуживание являются основными причинами снижения затрат при производстве пластин. Veteksemicon считает стабильность процесса основным показателем Susceptor. Наше запатентованное CVD-покрытие SiC является плотным, непористым и имеет зеркально гладкую поверхность. Это не только значительно уменьшает осыпание частиц под воздействием высокотемпературного воздушного потока, но также значительно замедляет прилипание побочных продуктов реакции (таких как поликристаллический SiC) к поверхности лотка. Это означает, что ваша реакционная камера может оставаться чистой в течение более длительного периода времени, увеличивая интервалы между регулярной очисткой и техническим обслуживанием, тем самым улучшая общее использование оборудования и производительность.

4. Продлить срок службы

Частота замены токоприемников как расходного компонента напрямую влияет на эксплуатационные затраты на производство. Veteksemicon продлевает срок службы продукции за счет двойного технологического подхода: «оптимизация подложки» и «улучшение покрытия». Графитовая подложка высокой плотности и низкой пористости эффективно замедляет проникновение и коррозию подложки технологическими газами; одновременно наше толстое и однородное покрытие SiC действует как надежный барьер, значительно подавляя сублимацию при высоких температурах. Реальные испытания показывают, что при одних и тех же условиях процесса суцепторы Veteksemicon демонстрируют более медленную скорость снижения производительности и более длительный эффективный срок службы, что приводит к снижению эксплуатационных затрат на одну пластину.

5. Подтверждение проверки экологической цепочки

Проверка экологической цепочки Veteksemicon EPI Susceptor Part охватывает сырье и производство, прошла сертификацию по международным стандартам и имеет ряд запатентованных технологий, обеспечивающих ее надежность и устойчивость в полупроводниковой и новой энергетической областях.

Для получения подробных технических спецификаций, официальных документов или организации образцовых испытаний свяжитесь с нашей командой технической поддержки, чтобы узнать, как Veteksemicon может повысить эффективность вашего процесса.

Основные области применения

Склад продукции Ветексемикон