Продукты
Набор рецепторов LPE SI EPI
  • Набор рецепторов LPE SI EPIНабор рецепторов LPE SI EPI

Набор рецепторов LPE SI EPI

Плоский токоприемник и цилиндрический токоприемник являются основной формой эписуссепторов. VeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором комплектов LPE Si Epi Susceptor Set в Китае. Мы уже много лет специализируемся на покрытиях SiC и покрытиях TaC. Мы предлагаем LPE Si Epi Susceptor. Набор разработан специально для пластин LPE PE2061S 4 дюйма. Степень соответствия графитового материала и покрытия SiC хорошая, однородность хорошая. превосходный и длительный срок службы, что может повысить производительность роста эпитаксиального слоя во время процесса LPE (жидкофазная эпитаксия). Мы приглашаем вас посетить наш завод в Китае.

Это полупроводник является профессиональным производителем и поставщиком приемников LPE Si EPI в Китае. С хорошим качеством и конкурентоспособной ценой, добро пожаловать, чтобы посетить нашу фабрику и создать долгосрочное сотрудничество с нами.


Набор Repector Vetek Semiconductor Si EPI-это высокопроизводительный продукт, созданный путем применения тонкого слоя карбида кремния на поверхность высокочищенныхИзотропный графитПолем Это достигается с помощью проприетарного химического химического отложения пары (CVD).


Набор SI EPI Vetek Semiconductor SI EPI представляет собой реактор ствола эпитаксиального осаждения CVD, предназначенный для надежного выполнения даже в сложных условиях. Его выдающаяся адгезия покрытия, устойчивость к высокотемпературному окислению и коррозии делает его идеальным выбором для суровых сред. Более того, его равномерный тепловой профиль и паттерн потока ламинарного газа предотвращают загрязнение, обеспечивая рост высококачественных эпитаксиальных слоев.


Бочкообразная конструкция нашего полупроводникового эпитаксиального реактора оптимизирует поток газа, обеспечивая равномерное распределение тепла. Эта функция эффективно предотвращает загрязнение и диффузию примесей, гарантируя получение высококачественных эпитаксиальных слоев на подложках пластин.


В VeTek Semiconductor мы стремимся предоставлять клиентам высококачественную и экономически эффективную продукцию. Наш комплект токоприемников LPE Si Epi предлагает конкурентоспособные цены, сохраняя при этом превосходную плотность как графитовой подложки, так иКремниевое карбидовое покрытиеПолем Эта комбинация обеспечивает надежную защиту в высокотемпературных и коррозионных рабочих средах.


SEM Данные пленки CVD SIC

SEM DATA OF CVD SIC FILM


Основные физические свойства покрытия CVD SiC:

Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство Типичное значение
Кристаллическая структура FCC β -фазовый поликристаллический, в основном (111) ориентированный
Плотность покрытия CVD SIC 3.21 г/см=
Покрытие SiC Твердость Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г)
Размер зерна 2 ~ 10 мм
Химическая чистота 99,99995%
Теплоемкость 640 Дж·кг-1· K-1
Температура сублимации 2700 ℃
Прочность на гибкость 415 МПа РТ 4-точечный
Модуль Юнга 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Теплопроводность 300 Вт·м-1· K-1
Тепловое расширение (КТР) 4,5×10-6K-1


Это полупроводник Набор рецепторов LPE SI EPIПроизводственный магазин

SiC Graphite substrateLPE SI EPI Susceptor Set testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment

Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Горячие Теги: Набор рецепторов LPE SI EPI
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept