Продукты
Продукты
Набор рецепторов LPE SI EPI
  • Набор рецепторов LPE SI EPIНабор рецепторов LPE SI EPI

Набор рецепторов LPE SI EPI

Плоский токоприемник и цилиндрический токоприемник являются основной формой эписуссепторов. VeTek Semiconductor является ведущим производителем и новатором комплектов LPE Si Epi Susceptor Set в Китае. Мы уже много лет специализируемся на покрытиях SiC и покрытиях TaC. Мы предлагаем LPE Si Epi Susceptor. Набор разработан специально для пластин LPE PE2061S 4 дюйма. Степень соответствия графитового материала и покрытия SiC хорошая, однородность хорошая. превосходный и длительный срок службы, что может повысить производительность роста эпитаксиального слоя во время процесса LPE (жидкофазная эпитаксия). Мы приглашаем вас посетить наш завод в Китае.
Рейтинг: 5.0
(Рейтинг: 1)

Это полупроводник является профессиональным производителем и поставщиком приемников LPE Si EPI в Китае. С хорошим качеством и конкурентоспособной ценой, добро пожаловать, чтобы посетить нашу фабрику и создать долгосрочное сотрудничество с нами.


Набор Repector Vetek Semiconductor Si EPI-это высокопроизводительный продукт, созданный путем применения тонкого слоя карбида кремния на поверхность высокочищенныхИзотропный графитПолем Это достигается с помощью проприетарного химического химического отложения пары (CVD).


Набор SI EPI Vetek Semiconductor SI EPI представляет собой реактор ствола эпитаксиального осаждения CVD, предназначенный для надежного выполнения даже в сложных условиях. Его выдающаяся адгезия покрытия, устойчивость к высокотемпературному окислению и коррозии делает его идеальным выбором для суровых сред. Более того, его равномерный тепловой профиль и паттерн потока ламинарного газа предотвращают загрязнение, обеспечивая рост высококачественных эпитаксиальных слоев.


Бочкообразная конструкция нашего полупроводникового эпитаксиального реактора оптимизирует поток газа, обеспечивая равномерное распределение тепла. Эта функция эффективно предотвращает загрязнение и диффузию примесей, гарантируя получение высококачественных эпитаксиальных слоев на подложках пластин.


В VeTek Semiconductor мы стремимся предоставлять клиентам высококачественную и экономически эффективную продукцию. Наш комплект токоприемников LPE Si Epi предлагает конкурентоспособные цены, сохраняя при этом превосходную плотность как графитовой подложки, так иКремниевое карбидовое покрытиеПолем Эта комбинация обеспечивает надежную защиту в высокотемпературных и коррозионных рабочих средах.


SEM Данные пленки CVD SIC

SEM DATA OF CVD SIC FILM


Основные физические свойства покрытия CVD SiC:

Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство Типичное значение
Кристаллическая структура FCC β -фазовый поликристаллический, в основном (111) ориентированный
Плотность покрытия CVD SIC 3.21 г/см=
Покрытие SiC Твердость Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г)
Размер зерна 2 ~ 10 мм
Химическая чистота 99,99995%
Теплоемкость 640 Дж·кг-1· K-1
Температура сублимации 2700 ℃
Прочность на гибкость 415 МПа РТ 4-точечный
Модуль Юнга 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Теплопроводность 300 Вт·м-1· K-1
Тепловое расширение (КТР) 4,5×10-6K-1


Это полупроводник Набор рецепторов LPE SI EPIПроизводственный магазин

SiC Graphite substrateLPE SI EPI Susceptor Set testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment

Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, улица Цзыян, округ Уи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Рейтинг:
5.0
X
Мы используем файлы cookie, чтобы предложить вам лучший опыт просмотра, анализировать трафик сайта и персонализировать контент. Используя этот сайт, вы соглашаетесь на использование нами файлов cookie. политика конфиденциальности
ОтклонятьПринимать