Продукты
SIC, покрытый графитом, ствол для EPI
  • SIC, покрытый графитом, ствол для EPISIC, покрытый графитом, ствол для EPI
  • SIC, покрытый графитом, ствол для EPISIC, покрытый графитом, ствол для EPI
  • SIC, покрытый графитом, ствол для EPISIC, покрытый графитом, ствол для EPI

SIC, покрытый графитом, ствол для EPI

Эпитаксиальная нагревательная основа для пластин цилиндрического типа представляет собой продукт со сложной технологией обработки, которая требует очень сложного механического оборудования и возможностей. Компания Vetek Semiconductor имеет современное оборудование и богатый опыт в обработке токоприемников из графита с покрытием SiC для EPI, может обеспечить такой же, как и оригинальный заводской срок службы, более экономичные эпитаксиальные стволы. Если вы заинтересованы в наших данных, пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам.

Это полупроводник- китайский производитель и поставщик, который в основном производит токоприемники из графита с покрытием SiC для EPI с многолетним опытом. Надеюсь построить деловые отношения с вами.ЭПИ (Эпитаксия)Это критический процесс в производстве современных полупроводников. Он включает в себя нанесение тонких слоев материала на подложку для создания сложных структур устройств. Графитовые цилиндрические токоприемники с покрытием из SiC для EPI обычно используются в качестве токоприемников в реакторах EPI из-за их превосходной теплопроводности и устойчивости к высоким температурам. СCVD-SIC покрытие, он становится более устойчивым к загрязнению, эрозии и тепловому шоку. Это приводит к более длительной жизни для восприимчика и улучшенного качества фильма.


Преимущества нашего токоприемника с графитовым бочонком с покрытием SiC:


Уменьшенное загрязнение: Инертная природа SIC предотвращает примеси от приличия к поверхности мнений, снижая риск загрязнения депонированных пленок.

Повышенная эрозионная стойкость: SiC значительно более устойчив к эрозии, чем обычный графит, что приводит к увеличению срока службы токоприемника.

Улучшенная тепловая стабильность: SiC обладает превосходной теплопроводностью и может выдерживать высокие температуры без значительных искажений.

Усовершенствованное качество фильма: Улучшенная тепловая стабильность и снижение загрязнения приводят к пленкам более высокого качества с улучшенной однородности и контролем толщины.


Приложения:

Графитовые цилиндрические токоприемники с покрытием SiC широко используются в различных приложениях EPI, в том числе:

✔ Светодиоды на основе Ган

Power Power Electronics

✔ Оптоэлектронные устройства

✔ Высокочастотные транзисторы

✔ Датчики

Параметр продукта Perpector Graphite Barrel, покрытый SIC

Физические свойстваизостатический графит
Свойство Единица Типичное значение
Объемная плотность G/CM³ 1.83
Твердость HSD 58
Электрическое удельное сопротивление мкОм.м 10
Прочность на гибкость МПА 47
Прочность на сжатие МПА 103
Предел прочности МПА 31
Модуль Юнга Средний балл 11.8
Тепловое расширение (КТР) 10-6K-1 4.6
Теплопроводность W · m-1· K-1 130
Средний размер зерна мкм 8-10
Пористость % 10
Содержание золы ppm ≤10 (после очистки)

        Примечание. Перед нанесением покрытия мы проведем первую очистку, после нанесения покрытия проведем вторую очистку.

Основные физические свойства покрытия CVD SIC

Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство Типичное значение
Кристаллическая структура FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная
SIC Плотность покрытия 3,21 г/см³
CVD SIC. Твердость покрытия 2500 Vickers Твердость (нагрузка 500 г)
Размер зерна 2~10 мкм
Химическая чистота 99,99995%
Теплоемкость 640 Дж·кг-1· K-1
Температура сублимации 2700 ℃
Прочность на гибкость 415 МПа RT 4-очка
Модуль Юнга 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Теплопроводность 300 Вт·м-1· K-1
Тепловое расширение (КТР) 4,5 × 10-6K-1

Это полупроводникSIC, покрытый графитом, ствол для EPIПроизводственный магазин

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

Горячие Теги: Графитовый бочонок с SiC-покрытием для EPI
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept