Продукты
SIC, покрытый графитом графита, дефлектор
  • SIC, покрытый графитом графита, дефлекторSIC, покрытый графитом графита, дефлектор
  • SIC, покрытый графитом графита, дефлекторSIC, покрытый графитом графита, дефлектор

SIC, покрытый графитом графита, дефлектор

Дефлектор тигля с графитовым покрытием SiC является ключевым компонентом оборудования печи для монокристаллов. Его задача состоит в том, чтобы плавно направлять расплавленный материал из тигля в зону роста кристаллов и обеспечивать качество и форму роста монокристаллов. Полупроводник Vetek может Предоставляем как графитовый, так и SiC материал покрытия. Свяжитесь с нами для получения более подробной информации.

Vetek Semiconducotr - профессиональный китайский производитель и поставщик графитового дефлектора с графитом. Графитный графитный дефлектор с покрытием SIC является важнейшим компонентом в монокристаллической печи, которому поручено плавно направлять расплавленное материал от тигма в зону роста кристаллов, обеспечивая качество и форму роста монокристаллического.


Функции нашего дефлектора тигля с графитовым покрытием SiC:

Контроль потока: он направляет поток расплавленного кремния во время процесса Чохральского, обеспечивая равномерное распределение и контролируемое движение расплавленного кремния, чтобы способствовать росту кристаллов.

Регуляция температуры: она помогает регулировать распределение температуры в рамке кремния, обеспечивая оптимальные условия для роста кристаллов и минимизировать градиенты температуры, которые могут повлиять на качество монокристаллического кремния.

Профилактика загрязнения: контролируя поток расплавленного кремния, это помогает предотвратить загрязнение от тигера или других источников, сохраняя высокую чистоту, необходимую для полупроводниковых применений.

Стабильность: дефлектор способствует стабильности процесса роста кристаллов за счет снижения турбулентности и способствуя устойчивому потоку расплавленного кремния, что имеет решающее значение для достижения однородных кристаллических свойств.

Облегчение роста кристаллов: управляя расплавленным кремнием в контролируемом манере, дефлектор облегчает рост монокристалла из расплавленного кремния, что необходимо для создания высококачественных монокристаллических силиконовых вафей, используемых в производстве полупроводника.


Параметры продукта дефлектора тигля с графитовым покрытием SiC

Физические свойства изостатического графита
Свойство Единица Типичное значение
Объемная плотность г/см³ 1.83
Твердость HSD 58
Электрическое сопротивление μОМ.m 10
Прочность на гибкость МПа 47
Прочность на сжатие МПа 103
Предел прочности МПа 31
Модуль Янга ГПа 11.8
Тепловое расширение (CTE) 10-6K-1 4.6
Теплопроводность W · m-1·К-1 130
Средний размер зерна мкм 8-10
Пористость % 10
Содержание золы ppm ≤10 (после очищенного)

Примечание. Перед нанесением покрытия мы проведем первую очистку, после нанесения покрытия проведем вторую очистку.


Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство Типичное значение
Кристаллическая структура FCC β -фазовый поликристаллический, в основном (111) ориентированный
Плотность 3.21 г/см=
Твердость Твердость 2500 по Виккерсу (нагрузка 500 г)
Размер зерна 2 ~ 10 мм
Химическая чистота 99,99995%
Теплоемкость 640 J · кг-1·К-1
Температура сублимации 2700℃
Прочность на гибкость 415 МПа RT 4-очка
Модуль Юнга 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Теплопроводность 300 Вт · м-1·К-1
Тепловое расширение (CTE) 4,5×10-6K-1


Сравните производственный магазин полупроводников :

VeTek Semiconductor Production Shop


Горячие Теги: Отражатель графитового тигля с покрытием SiC
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept