SiC Керамический вакуумный патрон для пластин

Керамический вакуумный патрон Veteksemicon sic для пластин — это основной компонент, разработанный специально для производства полупроводников третьего поколения и оптимизированный для условий обработки пластин при высоких температурах и высоком давлении. Изготовленные из керамических материалов высокой чистоты, прецизионная механическая обработка и специальная обработка поверхности обеспечивают стабильные характеристики вакуумного удержания и превосходную термическую стабильность в требовательном процессе производства полупроводников. Наши вакуумные патроны были проверены на практике сотнями производителей полупроводников, демонстрируя отличную производительность в таких важных процессах, как эпитаксия SiC, ионная имплантация и фотолитография. Они эффективно решают проблемы коробления пластин и точности позиционирования, вызванные высокой твердостью материала и высокими температурами процесса.

Общая информация о продукте

Условия сотрудничества с продуктом

Приложение: Керамический вакуумный патрон Veteksemicon для пластин изготовлен из высокопроизводительных керамических материалов и прецизионно обработан, что обеспечивает сверхплоскую поверхность и превосходную термическую стабильность. Он обеспечивает надежные решения по адсорбции пластин и контролю температуры для таких процессов, как эпитаксиальный рост, ионная имплантация и фотолитография, эффективно повышая производительность процесса и эффективность производства.

Услуги, которые могут быть предоставлены: анализ сценариев применения клиента, подбор материалов, решение технических проблем.

Профиль компании:Ветексемикон имеет 2 лаборатории, команду экспертов с 20-летним опытом работы с материалами, обладающую возможностями исследований и разработок, а также производства, тестирования и проверки.

Керамический вакуумный патрон Veteksemicon для преимуществ пластинчатых сердечников

 ● Прорыв в науке о материалах

Мой соперник использует уникальную рецептуру материала и процесс спекания, чтобы значительно повысить механическую прочность и термическую стабильность своей продукции, сохраняя при этом превосходные изоляционные свойства керамических материалов. В нашей керамике на основе оксида алюминия используется сырье высокой чистоты и специальный состав добавок, обеспечивающий превосходную стабильность размеров даже в условиях высоких температур. Наша керамика на основе карбида кремния благодаря оптимизированному процессу спекания обеспечивает более высокую теплопроводность и улучшенное термическое согласование, что делает ее особенно хорошо подходящей для высокотемпературной обработки пластин SiC.

 ● Превосходные характеристики терморегулирования.

Наша уникальная многослойная конструкция и прецизионная обработка гарантируют, что патрон сохраняет превосходную температурную однородность даже в условиях эксплуатации при высоких температурах. Патрон из карбида кремния имеет теплопроводность, превышающую 200 Вт/м·К, что позволяет быстро балансировать температуру и поддерживать колебания температуры поверхности пластины в пределах ±0,8°C. Эта превосходная возможность управления температурным режимом эффективно позволяет избежать дефектов процесса, вызванных колебаниями температуры, и значительно повышает выход продукта.

● Технология сверхточной обработки.

Мой соперник может похвастаться ведущими прецизионными обрабатывающими центрами в Китае, использующими уникальные процессы шлифования и полировки для достижения субмикронной плоскостности поверхности. Наши патроны из карбида кремния обеспечивают плоскостность поверхности в пределах 0,8 мкм, при этом значение шероховатости поверхности Ra не превышает 0,1 мкм. Такое сверхточное качество поверхности обеспечивает идеальное прилегание пластины к патрону, обеспечивая надежную плоскую опору для точных процессов, таких как фотолитография.

● Увеличенный срок службы

Благодаря оптимизированному составу материалов и усиленной конструкции срок службы нашей продукции превышает 40 % по сравнению с традиционной продукцией. Специальные технологии усиления кромок и покрытия поверхности позволяют нашей продукции выдерживать частые операции зажима и очистки. Продукты на основе глинозема гарантированно проработают более 200 000 раз, а продукты на основе карбида кремния могут выдержать более 500 000 циклов, что значительно снижает эксплуатационные расходы для наших клиентов.

● Подтверждение проверки экологической цепочки.

Керамический вакуумный патрон Veteksemicon для проверки экологической цепочки пластин охватывает сырье и производство, прошел сертификацию по международным стандартам и имеет ряд запатентованных технологий, обеспечивающих его надежность и устойчивость в полупроводниковой и новой энергетической областях.

Для получения подробных технических спецификаций, официальных документов или порядка проведения испытаний, пожалуйста,свяжитесь с нашей командой технической поддержкичтобы узнать, как Ветексемикон может повысить эффективность вашего процесса.