Вертикальная печь с кольцом из карбида кремния

В вертикальных печах использование колец с покрытием из SiC является распространенным решением, которое в основном используется в процессах высокотемпературной термообработки.полупроводниковые пластины. Кольца с покрытием из карбида кремния в вертикальной печи представляют собой высокопроизводительные, устойчивые к высоким температурам компоненты, используемые для поддержки или защиты пластин для обеспечения стабильности и надежности процесса.

Функции кольца с покрытием из карбида кремния в вертикальной печи

● Функции

Вспомогательная роль. Используется для поддержки пластин для обеспечения их стабильности и точного положения в высокотемпературных печи.

●  Защита от коррозии

Предотвратить коррозионные газы или химикаты от коррозии базового материала.

●  Уменьшить загрязнение

Покрытие SIC с высоким содержанием прозрачности может эффективно предотвратить выброс частиц и загрязнение примесей, чтобы обеспечить чистоту процесса.

●  Высокая термостойкость

Поддерживайте превосходные механические свойства и размерную стабильность в условиях высокой температуры (обычно более 1000 ° C).

Особенности кольца с покрытием SiC для вертикальной печи

●  Высокая твердость и прочность

Материалы SIC имеют отличную механическую прочность и могут выдерживать высокое температурное напряжение в печи.

●  Хорошая термическая стабильность

Высокая теплопроводность карбида кремния и низкий коэффициент теплового расширения помогают снизить термическое напряжение.

●  Сильная химическая стабильность

Покрытия SIC могут противостоять коррозии в окисляющей, кислой или щелочной среде.

●  Низкое загрязнение частиц

Гладкая поверхность уменьшает возможность генерации частиц, что особенно подходит для ультрачистой среды производства полупроводников.

Используется для диффузии, окисления, отжига и других процессов в вертикальных печах для поддержки кремниевых пластин и предотвращения загрязнения частицами во время термообработки.

Производственные материалы и процессы

● Подложка: изготовлен из высококачественного графита SGL, качество гарантируется.

●  Покрытие: покрытие из карбида кремния наносится на поверхность графита методом химического осаждения из паровой фазы (CVD).

● Толщина покрытия обычно составляет от 50 до 500 мкм, что регулируется в соответствии с требованиями использования.

●  Покрытие SiC, нанесенное методом химического осаждения из паровой фазы, имеет более высокую чистоту и плотность, а также большую долговечность.

Выберите соответствующийSiC-покрытиеКольцо в соответствии с диаметрами кремниевой пластины в печи и спецификации носителя. Мы можем настроить его для вас. Высокая чистота, плотное покрытие является более долговечным и менее загрязняющим. Регулярно заменить в соответствии с частотой потребностей в использовании и процессах, чтобы избежать загрязнения или отказа от поддержки из -за старения покрытия.

Являясь профессиональным поставщиком и производителем колец с SiC-покрытием для вертикальных печей в Китае, компания VeTek Semiconductor уже давно стремится предоставлять передовые технологии и решения для вертикальных печей для полупроводниковой промышленности. Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА ПЛЕНКИ CVD SIC

Основные физические свойства покрытия CVD SiC

Это полупроводникВертикальная печь SIC Кольцевые магазины: