CVD SIC Protector

Позиционирование продукта и основные функции:

Защитник CVD SIC является ключевым компонентом в эпитаксиальном оборудовании карбида кремния LPE, в основном используемом для защиты внутренней структуры реакционной камеры и улучшения стабильности процесса. Его основные функции включают:

Защита от коррозии: кремниевое карбидовое покрытие, образованное процессом химического осаждения пара (CVD), может противостоять химической коррозии хлора/фториновой плазмы и подходит для суровых сред, таких как травление;

Термическое управление: высокая теплопроводности кремниевого карбида материала может оптимизировать однородность температуры в реакционной камере и улучшить качество эпитаксиального слоя;

Снижение загрязнения: в качестве компонента подкладок он может предотвратить непосредственное контакт с реакцией, непосредственно связаться с камерой и расширить цикл технического обслуживания оборудования.

Технические характеристики и дизайн:

Структурный дизайн:

Обычно разделяется на верхнюю и нижнюю полумесячную детали, симметрично установленные вокруг лотка, образуя защитную структуру в форме кольца;

Сотрудничество с такими компонентами, как лотки и насадка для газового душа для оптимизации распределения воздушного потока и последствий фокусировки плазмы.

Процесс покрытия:

Метод сердечно-сосудистых заболеваний используется для осаждения высокой чистоты SIC покрытий с однородной толщиной пленки в пределах ± 5% и шероховатостью поверхности, до RA≤0,5 мкм;

Типичная толщина покрытия составляет 100-300 мкм, и она может выдерживать высокотемпературную среду 1600 ℃.

Сценарии применения и преимущества производительности:

Применимое оборудование:

В основном используется для 6-дюймовой 8-дюймовой карбидной карбидной печи LPE, поддерживающей гомоэпитаксиальный рост SIC;

Подходит для оборудования для травления, оборудования MOCVD и других сценариев, которые требуют высокой коррозионной стойкости.

Ключевые показатели:

Коэффициент термического расширения: 4,5 × 10⁻⁶/K (сопоставление с графитовым субстратом для уменьшения теплового напряжения);

Удельное сопротивление: 0,1-10 Ом · см (требования к проводимости);

Срок службы: в 3-5 раз длиннее традиционных кварца/кремниевых материалов.

Технические барьеры и проблемы

Этот продукт должен преодолеть трудности с процессом, такие как контроль над однородности покрытия (например, компенсация толщины края) и оптимизация связывания раздела по подложке (≥30 МПа), и в то же время необходимо соответствовать высокоскоростному вращению (1000 об / мин) и требованиям градиента температуры оборудования LPE.