Поддержка карбида карбида тантала

Основная функция полупроводника VetekПокрытие карбидом тантала (TAC)Поддержка заключается в улучшениитеплостойкость, устойчивость к износу и коррозионная стойкостьсубстрата путем покрытия слоя карбида тантала, чтобы повысить точность и надежность процесса и продлить срок службы компонентов. Это высокопроизводительный продукт покрытия, используемый в области полупроводниковой обработки.

Сторонник карбида в полупроводнике Vetek's Semiconductor имеет твердость MOHS почти 9 ~ 10, второй только для алмаза. Он обладает чрезвычайно сильной износостойкой стойкостью и может эффективно противостоять износу поверхности и воздействия во время обработки, тем самым эффективно продлевая срок службы компонентов оборудования. В сочетании с высокой темой плавления около 3880 ° C он часто используется для покрытия ключевых компонентов полупроводникового оборудования, таких как поверхностные покрытия опорных конструкций, оборудование для термообработки, камеры или прокладки в полупроводниковом оборудовании для повышения его износа и высокотемпературной устойчивости.

Из -за чрезвычайно высокой температуры плавления карбида тантала около 3880 ° C, в процессах полупроводниковой обработки, таких какхимическое осаждение паров (сердечно -сосудистые заболевания)иФизическое осаждение пара (PVD), Покрытие TAC с сильной высокотемпературной устойчивостью и химической коррозионной устойчивостью может эффективно защищать компоненты оборудования и предотвратить коррозию или повреждение субстрата в экстремальных средах, обеспечивая эффективную защиту для высокотемпературных сред в производстве пластин. Эта функция также определяет, что поддержка карбида карбида vetek полупроводника часто используется в процессах травления и коррозии.

Поддержка карбида тантала также имеет функцию уменьшения загрязнения частиц. Во время обработки пластины поверхностный износ обычно производит загрязнение частиц, что влияет на качество продукта пластины. Характеристики экстремального продукта TAC с жесткостью около 9-10 м) могут эффективно уменьшить этот износ, тем самым уменьшая генерацию частиц. В сочетании с превосходной теплопроводности TAC (около 21 Вт/м · K) он может поддерживать хорошую теплопроводность в условиях высокой температуры, тем самым значительно повышая урожайность и согласованность производства пластин.

Основные продукты по покрытию TAC Vetek Semiconductor включаютОбогреватель TAC, Cvd TAC Cating Crucible, TAC Cotating Retation ReceptorиTAC Cotating запасная частьи т. д., а также поддерживают индивидуальные услуги продукции. Vetek Semiconductor стремится предоставлять отличные продукты и технические решения для полупроводниковой промышленности. Мы искренне надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.

Карбид тантала (TAC) покрытие на микроскопическом поперечном сечении:

Основные физические свойства покрытия CVD TAC：