Графитовая ствольная коробка с покрытием TaC

Приглашаем вас прийти на наш завод VeTek Semiconductor, чтобы купить новейший, недорогой и высококачественный графитовый токоприемник с покрытием TaC. Мы надеемся на сотрудничество с вами.

Точка плавления керамического материала карбида тантала до 3880 ℃, высокая температура плавления и хорошая химическая стабильность соединения, его высокотемпературная среда может по-прежнему поддерживать стабильные характеристики, кроме того, он также обладает высокой термостойкостью, устойчивостью к химической коррозии, хорошими химическими свойствами. механическая совместимость с углеродными материалами и другие характеристики, что делает его идеальным материалом для защитного покрытия графитовой подложки. Покрытие из карбида тантала может эффективно защитить графитовые компоненты от воздействия горячего аммиака, паров водорода и кремния, а также расплавленного металла в суровых условиях эксплуатации, значительно продлить срок службы графитовых компонентов и препятствовать миграции примесей в графите. обеспечение качества эпитаксии и роста кристаллов. В основном используется в процессе влажной керамики.

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) является наиболее зрелым и оптимальным методом подготовки покрытия из карбида тантала на поверхности графита.

Метод покрытия CVD TaC для графитового токоприемника с покрытием TaC:

Процесс покрытия использует TACL5 и пропилен в качестве источника углерода и источника тантала соответственно, а аргона в качестве газа -носителя, чтобы принести пара пентахлорида тантала в реакционную камеру после высокотемпературной газификации. Под целевой температурой и давлением пара материала предшественника адсорбируется на поверхности графитной части, и происходит серия сложных химических реакций, таких как разложение и сочетание источника углерода и источника тантала. В то же время также участвуют серия поверхностных реакций, таких как диффузия предшественника и десорбция побочных продуктов. Наконец, плотный защитный слой образуется на поверхности графитовой части, которая защищает графитную часть от стабильной в экстремальных условиях окружающей среды. Сценарии применения графитовых материалов значительно расширяются.

Параметры продукта графитового токоприемника с покрытием TaC:

Производственные цеха:

Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике: