Продукты

Veteksemicon Полупроводник кварцевый экран является жизненно важным компонентом в системах металлического органического химического осаждения пара (MOCVD), играя решающую роль в оптимизации тонких процессов роста пленки. На этой странице деталей продукта выделяются кварцевые экраны Veteksemicon, предназначенные для повышения однородности, чистоты и эффективности технического обслуживания оборудования MoCVD.

Кварт -тиран с высокой чистотой является важным компонентом ядра в передовых процессах производства полупроводников, особенно для применений, которые требуют чрезвычайно высокой тепловой стабильности, химической чистоты и точности размеров. Veteksemicon предлагает превосходные типичные тигны с высокой чистотой, предназначенные для удовлетворения крайних требований полупроводниковых процессов.

Пористый керамический патрон SIC от Veteksemicon-это точная вакуумная платформа, разработанная для безопасной и без частиц, в усовершенствованных полупроводниковых процессах, таких как травление, ионная имплантация, CMP и проверка. Изготовленная из пористого кремниевого карбида с высокой чистотой, он предлагает выдающуюся теплопроводность, химическую стойкость и механическую прочность. Благодаря настраиваемым размерам и размерам пор Veteksemicon предоставляет адаптированные решения для удовлетворения строгих требований среды обработки пластин в чистоте.

Наши растворы для носителей с высокой чистотой пластинкой представляют собой раствор для носителей с высокой точкой, адаптируемые для полупроводниковых, светодиодных, солнечных элементов и производства аккумуляторов. Эта кварцевая лодка, разработанная для выдержания высоких температур и химически агрессивных сред, имеет низкое тепловое расширение, превосходная электрическая изоляция и долгосрочная стабильность. Идеально подходит для процессов диффузии, окисления и LPCVD, он поддерживает точное выравнивание пластин и доступно в разных размерах для удовлетворения различных требований оборудования.

Veteksemicon SIC Кантилеверные весла представляют собой высокочислительную силиконовую карбид, предназначенные для обработки пластин в горизонтальных диффузионных печи и эпитаксиальных реакторов. Благодаря исключительной теплопроводности, коррозионной стойкости и механической прочности, эти весла обеспечивают стабильность и чистоту в требовании полупроводниковых сред. Доступно в пользовательских размерах и оптимизирован для длительного срока службы.

SIC Block Veteksemicon предназначен для высокоэффективного шлифования и истончения кремниевых и сапфировых пластин. При превосходной теплопроводности (≥120 Вт/м · К), высокой устойчивости к тепловым ударам и превосходной стойкости износа (MOHS ≥9) наши блоки улучшают стабильность процесса и снижают частоту изменения инструмента. Доступно в размерах от 120 мм до 480 мм, с индивидуальными опциями и быстрой доставкой для удовлетворения разнообразных производственных потребностей.