Непрозрачный кварцевый экран и затвор высокой чистоты для MOCVD

1. Технические характеристики

Мы обеспечиваем высокоточную обработку на основе ваших технических чертежей, чтобы обеспечить идеальную совместимость с вашими конкретными моделями оборудования.

2. Основные области применения

● Защита процесса MOCVD: Служит важным внутренним щитом/вкладышем для защиты реакционной среды.

● Полупроводниковая эпитаксия: Используется в качестве высокоточных заслонок для стабилизации потока и температуры во время роста тонких пленок.

● Производство широкозонных полупроводников: Совместимость с средами с высокими требованиями к GaN и другим современным материалам.

3. Почему стоит выбрать кварцевые решения VETEK?

● Превосходное управление тепловым излучением: Наш молочно-белый кварц содержит высокую плотность микропузырьков, которые эффективно рассеивают и блокируют высокотемпературное тепловое излучение (>1000°C). Он поглощает видимый и ближний инфракрасный свет от нагревательных элементов и преобразует его в дальнее инфракрасное излучение, обеспечивая очень равномерный нагрев.
● Контроль загрязнения и простота обслуживания: В качестве расходного или сменного внутреннего вкладыша кварцевый экран поддерживает чистоту реакционной камеры, предотвращая осаждение побочных продуктов на дорогих стенках камеры и нагревателях. Эти детали можно регенерировать посредством влажной очистки (например, растворами SPM+DHF) или легко заменить, чтобы обеспечить высокий выход пластин.
● Чрезвычайная химическая стойкость: Кварц VETEK разработан так, чтобы выдерживать частые термические циклы и противостоять коррозии, вызываемой металлоорганическими соединениями (например, TMGa) и гидридами (например, AsH₃).
● Точное управление процессом: Наши кварцевые жалюзи сохраняют высокую стабильность размеров при инфракрасном нагреве или нагреве нитью. Их низкая тепловая инерция обеспечивает быструю механическую реакцию, обеспечивая точный контроль роста на «атомном уровне» и предотвращая перекрестное загрязнение во время переключения между несколькими пластинами или несколькими процессами.
● Экономически эффективная альтернатива: Для проектов со строгими бюджетными требованиями наши кварцевые изделия обеспечивают надежную отправную точку по сравнению с графитом с покрытием, обеспечивая необходимую защиту и функциональность для систем MOCVD.