Продвинутая керамика

Veteksemicon Полупроводник кварцевый экран является жизненно важным компонентом в системах металлического органического химического осаждения пара (MOCVD), играя решающую роль в оптимизации тонких процессов роста пленки. На этой странице деталей продукта выделяются кварцевые экраны Veteksemicon, предназначенные для повышения однородности, чистоты и эффективности технического обслуживания оборудования MoCVD.

Кварт -тиран с высокой чистотой является важным компонентом ядра в передовых процессах производства полупроводников, особенно для применений, которые требуют чрезвычайно высокой тепловой стабильности, химической чистоты и точности размеров. Veteksemicon предлагает превосходные типичные тигны с высокой чистотой, предназначенные для удовлетворения крайних требований полупроводниковых процессов.

Пористый керамический патрон SIC от Veteksemicon-это точная вакуумная платформа, разработанная для безопасной и без частиц, в усовершенствованных полупроводниковых процессах, таких как травление, ионная имплантация, CMP и проверка. Изготовленная из пористого кремниевого карбида с высокой чистотой, он предлагает выдающуюся теплопроводность, химическую стойкость и механическую прочность. Благодаря настраиваемым размерам и размерам пор Veteksemicon предоставляет адаптированные решения для удовлетворения строгих требований среды обработки пластин в чистоте.

Наши растворы для носителей с высокой чистотой пластинкой представляют собой раствор для носителей с высокой точкой, адаптируемые для полупроводниковых, светодиодных, солнечных элементов и производства аккумуляторов. Эта кварцевая лодка, разработанная для выдержания высоких температур и химически агрессивных сред, имеет низкое тепловое расширение, превосходная электрическая изоляция и долгосрочная стабильность. Идеально подходит для процессов диффузии, окисления и LPCVD, он поддерживает точное выравнивание пластин и доступно в разных размерах для удовлетворения различных требований оборудования.

Наша кварцевая лодка с высокой чистотой изготовлена ​​из слитого кварца (содержание SIO₂ ≥ 99,99%). Благодаря превосходной устойчивости к экстремальной среде, низкому коэффициенту термического расширения и длительным жизненным циклом, он стал незаменимым ключевым расходным материалом в полупроводнике и новой энергетической промышленности.

Кольцо с фокусировкой для травления является ключевым компонентом для обеспечения точности и стабильности процесса. Эти компоненты точно собираются в вакуумной камере для достижения равномерной обработки наноразмерных конструкций на поверхности пластины посредством точного контроля распределения плазмы, температуры края и однородности электрического поля.