Распределительная пластина кварцевого газа

Пластины для распределения кварцевых газов, также известные как кварцевые душевые головки, являются критическими компонентами в полупроводнике. Используя исключительную чистоту, высокую температурную сопротивление и коррозионную стойкость кварца, эти пластины обеспечивают равномерный и стабильный поток газов процесса на поверхность пластины. Эта точная доставка имеет важное значение для поддержания качества и единообразии депонированных пленок или ограбленных особенностей.

Ключевые особенности слитого кварца высокой чистоты

● Материал: 99,99%с высокой чистотой, слитый кварц

● Высокая температурная сопротивление: Выдерживает температуру выше 1000 ℃

● Коррозионная стойкость: Отличная долговечность в отношении обработанных газов и плазменных средств

● Точный поток газа: Разнообразное распределение микро-лучеров для оптимальной доставки газа и однородности осаждения

● Настраиваемый дизайн: Размер, шаблон отверстий и монтажные элементы могут быть адаптированы для конкретных моделей оборудования

Основные роли в производстве полупроводников

1. Физическое осаждение пара (PVD) и химическое осаждение паров (ССЗ)

Роль: В процессах PVD и CVD пластинка для распределения газа точно направляет реактивные газы (например, сайан, аммиак, кислород) или предшественники на пластину, образуя желаемую тонкую пленку.

Конкретное использование:

● Управление однородности: точно спроектированные микро-дыры пластины гарантируют, что поток и концентрация газа равномерны по всей поверхности пластины. Это жизненно важно для сбора пленок с постоянной толщиной и производительности.

● Профилактика загрязнения: высокая чистота кварца предотвращает реагирование пластины с помощью обработчиков или выпуска примесей. Это поддерживает чистоту фильма и предотвращает дефекты на поверхности пластины.

2. Плазма-усиленное химическое осаждение паров (PECVD)

Роль: В PECVD Quartz Demperhead не только обеспечивает реактивные газы, но и функционирует как электрод для генерации плазмы.

Конкретное использование:

● Плазменное зажигание: насадка для душа обычно подключена к радиочастотному (РЧ) источнику питания для создания плазмы. Высокоэнергетические частицы в плазме способствуют разложению газообразных реагентов, что позволяет осаждение пленки при более низких температурах.

● Тепловая стабильность: Quartz демонстрирует превосходную тепловую стабильность, позволяя ему выдерживать высокотемпературную плазменную среду. Это помогает поддерживать равномерную температуру в процессной камере, что еще больше обеспечивает качество и последовательность пленки.

3. Сухое травление

Роль: При сухой травлении пластина по распределению газа вводит в камеру травления (например, фторуглероды, хлор).

Конкретное использование:

● Распространенная однородность: пластина обеспечивает равномерный поток и концентрацию газов травления, что гарантирует постоянную глубину травления и профиль по всей пластине. Это имеет решающее значение для достижения точных моделей, необходимых для усовершенствованных полупроводниковых устройств.

● Устойчивость к коррозии: сильные коррозионные свойства газов травления требуют долговечного материала. Высокая коррозионная стойкость Кварца продлевает срок службы душа и снижает риск перерывов процесса.

4. Уборка пластин

Роль: В определенных процессах очистки пластин используется кварцевая газовая пластина для доставки чистящих газов (например, озона, аммиака) равномерно к поверхности пластины для удаления остатков или загрязняющих веществ.

Конкретное использование:

● Последовательная очистка: пластина гарантирует, что чистящие газы достигают каждой части пластины, что обеспечивает тщательный и равномерный процесс очистки.

● Химическая совместимость: совместимость кварца с широким спектром чистящих химических веществ предотвращает реакции и поддерживает чистоту и эффективность процесса очистки.