Кварцевое тиг для высокой чистоты

Кварцевая тиран с высокой чистотой, предоставленная платформой Veteksemicon, изготовлена ​​из сверхвысокой чистоты синтетической слитой кварца. Содержание SIO2 в выбранном кварцевом сырье обычно может достигать 99,998% или даже выше (4N8). Благодаря расширенным процессам плавления и литья содержание примесей сводится к минимуму, особенно ионы металлов (например, Na, K, Li, Fe, Al, CA и т. Д.) И содержание гидроксила, которые вредны для полупроводниковых процессов.

Этот кварцевый тиран предназначен для работы в высокотемпературных средах для обеспечения низкой загрязнения, высокой прочности и хорошей совместимости с ростом кристаллов и обработкой пластин.

Ⅰ. Основные приложения в процессах производства полупроводников

Кварцевые крестики с высокой точкой становятся жизненно важной ролью во многих ключевых процессах производства полупроводников с их уникальными физическими свойствами:

1. Рост монокристаллического кремния (процесс Чокральски - CZ)

Использовать: В процессе роста монокристаллического кремния с помощью метода Чокральского, кварцевые тигны с высокой чистотой являются основными контейнерами для расплавленного кремния. На качество и чистота кремниевых стержней напрямую подвержены тигеру.

Отличные физические свойства:

● Ультра-высокая чистота: изготовленная из кварцевого материала высокой чистоты, она обеспечивает чрезвычайно низкие примеси и избегает загрязнения монокристаллического кремния, что имеет решающее значение для изготовления высоко интегрированных и высокопроизводительных полупроводниковых устройств. Примеси, такие как щелочные металлы и тяжелые металлы, могут стать ловушками для носителей или центров рассеяния, серьезно влияя на электрические свойства устройства.

● Отличная высокотемпературная устойчивость: кварцевый материал имеет высокую температуру плавления (около 1700 ∘C), может противостоять чрезвычайно высокой температуре расплавленного кремния (около 1420 ∘C) и работать в течение длительного времени без деформации или раздувания.

● Хорошая тепловая стабильность: при высоких температурах коэффициент термического расширения чрезвычайно низкий, что может эффективно противостоять тепловому напряжению и избегать растрескивания во время нагрева и охлаждения, что обеспечивает стабильность и безопасность процесса.

● Химическая инертность: он имеет хорошую химическую инертность с расплавленным кремнием, нелегко реагировать с кремнием, уменьшает введение примесей и карбонизации кремния и обеспечивает чистоту кристаллов кремния.

2. Поликристаллическое литье слитка кремния

Приложение: В процессе литья слитка поликристаллического кремния кварцевые тигны высокой чистоты используются в качестве контейнеров для расплавленного поликристаллического кремния для литого фотоэлектрического или электронного сорта поликристаллического кремния.

Отличные физические свойства:

● Устойчивость к тепловым ударам: он может поддерживать конструкционную целостность даже в быстром нагревании и циклах охлаждения, чтобы избежать растрескивания, вызванных внезапными изменениями температуры.

● Стабильность размеров: точный размерный контроль и стабильность формы необходимы для литья поликристаллических слитков кремния, которые соответствуют требованиям спецификации.

3. Другие высокотемпературные приложения

Использование: В производстве полупроводников многие высокотемпературные трубки печи, такие как диффузия, окисление, отжиг и т. Д., Часто используют кварцевые контейнеры в качестве подкладок или носителей для поддержания чистой и стабильной среды процесса.

Ⅱ. Преимущества верховой чистоты veteksemon Quartz Crucible

Veteksemicon стремится предоставлять высококачественные, высокопроизводительные продукты для полупроводниковой промышленности. Наши кварцевые тигны с высокой точкой.

● Ультра-высокая гарантия чистоты: Строгий контроль сырья и производственных процессов, чтобы гарантировать, что продукт достигает ультра-высокой чистоты полупроводникового класса и сводит к минимуму риск загрязнения процесса.

● Отличная долговечность: Отличная тепловая стабильность и механическая прочность, продление срока службы продукта и снижение производственных затрат.

● Индивидуальная служба: Индивидуальные растворы тигных различных размеров, форм и спецификаций могут быть предоставлены в соответствии с вашими конкретными потребностями в процессе.

Veteksemicon Products Warehouse