MOCVD Эпитаксиальная пластина обеспечивает

MOCVD Эпитаксиальная пластина Рецептор является высокоэффективной эпитаксиальной пластиной, предназначенной для оборудования MOCVD (металлическое химическое пары). Рецептор изготовлен из графитового материала SGL и покрыт кремниевым карбидовым покрытием, которое сочетает в себе высокую теплопроводность графита с превосходной высокой температурой и коррозионной стойкостью SIC и подходит для хар -рабочей среды высокой температуры, высокого давления и коррозионного газа во время эпитаксиального роста полупроводников.

Графитный материал SGL обладает отличной теплопроводностью, которая гарантирует, что температура эпитаксиальной пластины равномерно распределена во время процесса роста и повышает качество эпитаксиального слоя. Покрытие SIC с покрытием позволяет восприимчику выдерживать высокие температуры более 1600 ℃ и адаптироваться к экстремальной тепловой среде в процессе MOCVD. Кроме того, покрытие SIC может эффективно противостоять высокотемпературным реакционным газам и химической коррозии, продлевает срок службы у мнений и уменьшить загрязнение.

Эпитаксиальная пластина Veteksemi может использоваться в качестве замены аксессуаров поставщиков оборудования MoCVD, таких как Aixtron.

● Размер: Может быть настроен в соответствии с потребностями клиента (доступный стандартный размер).

● Перевозка: Может нести несколько или даже более 50 эпитаксиальных пластин одновременно (в зависимости от размера чувствительности).

● Обработка поверхности: SIC покрытие, коррозионная устойчивость, устойчивость к окислению.

● Полупроводниковая промышленность: Используется для роста эпитаксиальных пластин, таких как светодиоды, лазерные диоды и полупроводники власти.

● Оптоэлектроника: Поддерживает эпитаксиальный рост высококачественных оптоэлектронных устройств.

● Высококачественные материалы исследования и разработка: Применяется к эпитаксиальной подготовке новых полупроводников и оптоэлектронных материалов.

В зависимости от типа оборудования и производственных потребностей клиента MOCVD, Vetek Semiconductor предоставляет индивидуальные услуги, включая размер чувствительности, материал, обработку поверхности и т. Д., Для обеспечения того, чтобы наиболее подходящее решение предоставляется клиентам.

CVD SIC -пленка кристаллическая структура

Основные физические свойства покрытия CVD SIC

Это полупроводник MOCVD Эпитаксиальная пластина