Графитовая лодочка для PECVD

Приложение: Графитовая лодочка Veteksemicon для PECVD является основным компонентом процесса плазменного химического осаждения из паровой фазы. Он разработан специально для нанесения высококачественных нитрида кремния, оксида кремния и других тонких пленок на кремниевые пластины, сложные полупроводники и подложки дисплеев. Его производительность напрямую определяет однородность пленки, стабильность процесса и стоимость производства.

Услуги, которые могут быть предоставлены: анализ сценариев применения клиента, подбор материалов, решение технических проблем.

Профиль компании:Ветексемикон имеет 2 лаборатории, команду экспертов с 20-летним опытом работы с материалами, обладающую возможностями исследований и разработок, а также производства, тестирования и проверки.

Общая информация о продукте

Условия сотрудничества с продуктом

Основные области применения

Мой соперник Графитовая лодка для основных преимуществ PECVD

1. Субстраты высокой чистоты, контролирующие загрязнение от источника.

Мы настаиваем на использовании изостатически прессованного графита высокой чистоты со стабильной чистотой более 99,995% в качестве основного материала, чтобы гарантировать, что он не будет выделять металлические примеси даже в непрерывной рабочей среде при 1600°C. Эти строгие требования к материалам позволяют напрямую избежать ухудшения характеристик пластин, вызванного загрязнением носителя, обеспечивая наиболее фундаментальную гарантию нанесения высококачественных пленок нитрида кремния или оксида кремния.

2. Точное тепловое поле и конструкция конструкции для обеспечения однородности процесса.

Благодаря обширному моделированию жидкости и данным технологических измерений мы оптимизировали угол паза лодочки, глубину направляющей канавки и путь потока газа. Такое тщательное структурное рассмотрение обеспечивает равномерное распределение химически активных газов между пластинами. Фактические измерения показывают, что при полной нагрузке отклонение однородности толщины пленки между пластинами в одной партии можно стабильно контролировать в пределах ±1,5%, что значительно повышает выход продукта.

3. Индивидуальные решения по нанесению покрытий для борьбы с конкретной технологической коррозией.

Чтобы соответствовать различным средам технологических газов разных клиентов, мы предлагаем два проверенных варианта покрытия: пироуглерод и карбид кремния. Если вы в основном наносите нитрид кремния и используете водородную очистку, плотное пиролитическое углеродное покрытие может обеспечить превосходную устойчивость к водородной плазменной эрозии. Если в вашем процессе используются очищающие газы, содержащие фтор, то лучшим выбором будет покрытие из карбида кремния высокой твердости. Это может продлить срок службы графитовых лодочек в высокоагрессивных средах более чем в три раза по сравнению с обычными изделиями без покрытия.

4. Отличная термостойкость, адаптируемость к частым температурным циклам.

Благодаря нашей уникальной формуле графита и конструкции внутренних ребер жесткости наши графитовые лодочки могут выдерживать многократное быстрое охлаждение и нагревание в процессе PECVD. В ходе строгих лабораторных испытаний, после 500 быстрых термических циклов от комнатной температуры до 800°C, коэффициент сохранения прочности лодки на изгиб все еще превышал 90%, что позволило эффективно избежать растрескивания, вызванного термическим напряжением, и обеспечить непрерывность производства и безопасность.

5. Подтверждение проверки экологической цепочки

Графитовая лодка Veteksemicon для проверки экологической цепочки PECVD охватывает сырье и производство, прошла сертификацию по международным стандартам и имеет ряд запатентованных технологий, обеспечивающих ее надежность и устойчивость в области полупроводников и новой энергетики.

Для получения подробных технических спецификаций, официальных документов или организации образцовых испытаний свяжитесь с нашей командой технической поддержки, чтобы узнать, как Veteksemicon может повысить эффективность вашего процесса.