Эпи -сторонник

Vetek Semiconductor - это профессиональный лидер China EPI, предпринятый, ALD Planetary Tugor и TAC Coated Support Support. и Наша поддержка EPI является важным компонентомЭпитаксиальный ростВ процессе производства полупроводников. Его основная функция заключается в поддержке и нагревании пластины, чтобы высококачественный эпитаксиальный слой можно было равномерно выращено на поверхности пластины.

EPI-восприимчики Vetek Semiconductors обычно изготовлены из графита высокой чистоты и покрыты слоем карбида кремния (SIC).Этот дизайн имеет следующие ключевые преимущества:

● Высокая температурная стабильность: EPI -восприимчик может оставаться стабильным в среде высокой температуры, обеспечивая равномерный рост эпитаксиального слоя.

● Коррозионная стойкость: Покрытие SIC обладает превосходной коррозионной устойчивостью и может противостоять эрозии химических газов, продлевая срок службы подноса.

● Теплопроводность: Высокая теплопроводность материала SIC обеспечивает равномерное распределение температуры пластины во время нагрева, тем самым улучшая качество эпитаксиального слоя.

● Соединение коэффициента теплового расширения: Коэффициент термического расширения SIC аналогичен графиту, избегая проблемы избавления покрытия из -за теплового расширения и сокращения.

Базовые физические свойстваCVD SIC Coter:

CVD SIC Coating Production Shop:

Обзор цепочки отрасли эпитаксии в полупроводнике.: