Вафельные лодочки с CVD-покрытием SiC высокой чистоты

1. Основные факторы производительности?

• Чистота на уровне 7N:Мы поддерживаем стандарт чистоты 99,99999% (7N). Это не подлежит обсуждению для предотвращения миграции металлических загрязнений в пластину во время длительных этапов вбивки или окисления.
• Уплотнение CVD (50–300 мкм):Мы не просто «красим» поверхность. Наш слой CVD SiC толщиной 50–300 мкм обеспечивает полную герметизацию подложки. Это устраняет пористость, а это означает, что лодка не будет задерживать химикаты или частицы даже после многократного воздействия химически активных газов или агрессивной очистки SPM/DHF.
• Термическая жесткость:Естественное низкое тепловое расширение карбида кремния удерживает эти лодки прямо. Они не провисают и не перекручиваются во время быстрого термического отжига (RTA), гарантируя, что рука робота всегда попадет в правильный паз без заедания.
• Стабильная доходность:Поверхность спроектирована таким образом, чтобы обеспечить низкую адгезию побочных продуктов. Меньшее накопление означает меньшее количество частиц, попадающих на пластины, и большее количество циклов очистки на мокром столе.
• Пользовательская геометрия:У каждой фабрики своя установка. Мы изготавливаем их по вашим чертежам с шагом и пазами, независимо от того, используете ли вы горизонтальную печь или вертикальную автоматизированную линию шириной 300 мм.

2. Совместимость процессов

• Атмосфера:Устойчив к средам TMGa, AsH₃ и высокой концентрации O₂.
• Термический диапазон:Стабильная длительная работа до 1400°C.
• Материалы:Специально разработан для процессов окисления и диффузии логических, силовых и аналоговых пластин.