Cvd SIC Pancake Repector

Это полупроводник CVD SIC Pancake Repector производится с использованием новейшей технологии химического отложения паров (CVD), чтобы обеспечить превосходную долговечность и экстремальную адаптивность температуры. Ниже приведены его основные физические свойства:

● Тепловая стабильность: Высокая тепловая стабильность CVD SIC обеспечивает стабильную производительность в условиях высокой температуры.

● Низкий коэффициент термического расширения: Материал имеет чрезвычайно низкий коэффициент термического расширения, который сводит к минимуму деформацию и деформацию, вызванную изменением температуры.

● Химическая коррозионная устойчивость: Отличная химическая стойкость позволяет ему поддерживать высокую производительность в различных суровых условиях.

Точная поддержка и оптимизированный теплопередача

Pancake Presceptor, покрытый SIC, предназначена для размещения полупроводниковых пластин на базе SIC, предназначенной для получения отличной поддержки во время эпитаксиального осаждения. SIC Pancake Speaptor разработан с использованием передовой технологии вычислительного моделирования для минимизации деформации и деформации в различных условиях температуры и давления. Типичный коэффициент термического расширения составляет около 4,0 × 10^-6/° C, что означает, что его размерная стабильность значительно лучше, чем традиционные материалы в высокотемпературных средах, что обеспечивает консистенцию толщины пластины (обычно от 200 мм до 300 мм).

Кроме того, восприятие блинчика CVD превосходит теплопередачу, с теплопроводностью до 120 Вт/м · K. Эта высокая теплопроводность может быстро и эффективно проводить тепло, повысить однородность температуры в печи, обеспечить равномерное распределение тепла во время эпитаксиального осаждения и уменьшить дефекты осаждения, вызванные неровным теплом. Оптимизированная производительность теплопередачи имеет решающее значение для улучшения качества осаждения, что может эффективно снизить колебания процесса и повысить урожайность.

Благодаря этим конструктивным и оптимизациям производительности восприимчивания к CVD SIC SIC Vetek обеспечивает прочную основу для производства полупроводников, обеспечивая надежность и согласованность в условиях суровых обработков и удовлетворяющих строгими требованиями современной полупроводниковой промышленности для высокой точности и качества.

CVD SIC -пленка кристаллическая структура

Основные физические свойства покрытия CVD SIC

Основные физические свойства покрытия CVD SIC
Свойство	Типичное значение
Кристаллическая структура	FCC β -фазовый поликристаллический, в основном (111) ориентированный
Плотность	3.21 г/см=
Твердость	2500 Vickers Твердость (нагрузка 500 г)
Размер зерна	2 ~ 10 мм
Химическая чистота	99,99995%
Теплоемкость	640 J · кг-1· K-1
Температура сублимации	2700 ℃
Прочность на гибкость	415 МПа RT 4-очка
Модуль Янга	430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Теплопроводность	300 Вт · м-1· K-1
Тепловое расширение (CTE)	4,5 × 10-6K-1