Графитный цилиндр CVD SIC

Графитный цилиндр CVD SIC Vetek Semiconductor играет важную роль в полупроводниковом оборудовании. Обычно он используется в качестве защитного крышки внутри реактора, чтобы обеспечить защиту внутренних компонентов реактора в средах высокой температуры и высокого давления. Это защитное покрытие может эффективно изолировать химические вещества и высокие температуры в реакторе, не давая им повреждения оборудования. В то же время графитный цилиндр CVD SIC также обладает отличной износостойкой и коррозионной стойкостью, что делает его способным поддерживать стабильность и долгосрочную долговечность в суровых рабочих средах. Используя защитные покрытия, изготовленные из этого материала, производительность и надежность полупроводниковых устройств могут быть улучшены, продлевая срок службы устройства, одновременно снижая потребности в техническом обслуживании и риск повреждения.

Графитный цилиндр CVD широко используется в полупроводниковом оборудовании, охватывая следующие ключевые области:

Оборудование для термообработки

Он служит защитной крышкой или тепловым экраном в оборудовании для термообработки. Это не только защищает внутренние компоненты от высокой температуры, но также может похвастаться превосходной высокой температурной сопротивлением.

Реакторы химического отложения паров (CVD)

В реакторах ССЗ он действует как защитное покрытие для химической реакционной камеры. Он эффективно изолирует реакционные вещества и обеспечивает хорошую коррозионную стойкость.

Коррозионная среда

Благодаря своей выдающейся коррозионной устойчивостью, графитовый цилиндр CVD можно использовать в химически коррозионных условиях во время производства полупроводников, таких как среды с коррозионными газами или жидкостями.

Оборудование для роста полупроводника

Он функционирует как защитные покрытия или другие компоненты в оборудовании для роста полупроводников. Защивывая оборудование от высоких температур, химической коррозии и износа, оно обеспечивает стабильность оборудования и долгосрочную надежность.

Характеризуясь высокой стабильностью температуры, коррозионной стойкостью, превосходными механическими свойствами и хорошей теплопроводностью, графитовый цилиндр CVD облегчает более эффективное рассеивание тепла в полупроводниковых устройствах, тем самым поддерживая стабильность и производительность устройства.