Кольцо с покрытием CVD SiC

В полумесяцах много мелких деталей, и кольцо с покрытием SiC является одним из них. Нанеся слойCVD-покрытие SiCНа поверхности графитового кольца высокой чистоты методом CVD мы можем получить кольцо с покрытием CVD SiC. Кольцо с покрытием SiC с покрытием SiC обладает превосходными свойствами, такими как устойчивость к высоким температурам, отличные механические свойства, химическая стабильность, хорошая теплопроводность, хорошая электроизоляция и отличная стойкость к окислению. Кольцо с покрытием CVD SiC и покрытие SiC.Гробовщикработать вместе.

SIC Covert Ring и сотрудничествоГробовщик

Функции кольца с покрытием CVD SiC:

  ●   Распределение потока: Геометрическая конструкция кольца с покрытием SIC помогает сформировать однородное поле потока газа, так что реакционный газ может равномерно покрывать поверхность субстрата, обеспечивая равномерный эпитаксиальный рост.

  ●  Теплообмен и однородность температуры: Кольцо с покрытием CVD SiC обеспечивает хорошие характеристики теплообмена, тем самым поддерживая однородную температуру кольца покрытия CVD SiC и подложки. Это позволяет избежать дефектов кристалла, вызванных колебаниями температуры.

  ●  Блокировка интерфейса: Кольцо с покрытием CVD SIC может в определенной степени ограничить диффузию реагентов, так что они реагируют в определенной области, тем самым способствуя росту высококачественных кристаллов SIC.

  ●  Функция поддержки: Кольцо CVD SIC покрывается на диск ниже, чтобы сформировать стабильную структуру, чтобы предотвратить деформацию в высокой температуре и реакционной среде, и поддерживать общую стабильность реакционной камеры.

VeTek Semiconductor всегда стремится предоставлять клиентам высококачественные кольца с CVD-покрытием SiC и помогать клиентам создавать решения по самым конкурентоспособным ценам. Независимо от того, какой тип кольца с CVD-покрытием SiC вам нужен, обращайтесь в компанию VeTek Semiconductor!

ДАННЫЕ СЭМ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ПЛЕНКИ CVD SIC:

Основные физические свойства покрытия CVD SiC: