Продукты
Лоток для вафель
  • Лоток для вафельЛоток для вафель

Лоток для вафель

Vetek Semiconductor специализируется на сотрудничестве со своими клиентами в производстве нестандартных конструкций вафельных лотков. Лоток Wafer Carrier может быть спроектирован для использования в CVD-эпитаксии кремния, эпитаксии III-V и эпитаксии III-нитрида, эпитаксии карбида кремния. Пожалуйста, свяжитесь с Vetek Semiconductor, чтобы узнать ваши требования к токоприемнику.

Вы можете быть уверены, что купить лоток для перевозчиков пластин на нашей фабрике.

Vetek Semiconductor в основном предоставляет графитовые детали CVD SIC, такие как лоток для носителей пластин для оборудования для полупроводника третьего поколения SIC-CVD, и предназначен для обеспечения передового и конкурентного производственного оборудования для отрасли. Оборудование SIC-CVD используется для роста гомогенного монокристаллического тонкопленочного эпитаксиального слоя на кремниевом карбидном субстрате, SIC Эпитаксиальный лист в основном используется для производственных силовых устройств, таких как диод Schottky, IGBT, MOSFET и другие электронные устройства.

Оборудование тесно сочетает в себе процесс и оборудование. Оборудование SIC-CVD имеет очевидные преимущества в высокой производственной мощности, совместимости 6/8 дюймов, конкурентной стоимости, непрерывного автоматического управления ростом для нескольких печей, низкой скорости дефекта, удобства обслуживания и надежности посредством конструкции управления полем температуры и управления полетом потока. В сочетании с подносом для носителей пластин с покрытием SIC, предоставленным нашим полупроводником Vetek, он может повысить эффективность производства оборудования, продлить срок службы и контролировать стоимость.

Полупроводниковый лоток с полупроводниковым носителем в основном обладает высокой чистотой, хорошей стабильностью графита, высокой точностью обработки, плюс покрытие CVD SIC, высокая температурная стабильность: кремниевые покрытия имеют превосходную высокую стабильность и защищают субстрат от тепла и химической коррозии в чрезвычайно высокой температурной среде Полем

Твердость и устойчивость к износу: кремниевые покрытия обычно имеют высокую твердость, обеспечивая отличную износную стойкость и продлевают срок службы подложки.

Коррозионная стойкость: кремниевое карбидное покрытие является коррозионным устойчивым ко многим химическим веществам и может защитить субстрат от повреждения коррозии.

Сниженный коэффициент трения: кремниевые покрытия обычно имеют низкий коэффициент трения, что может снизить потери трения и повысить эффективность работы компонентов.

Теплопроводность: покрытие из карбида кремния обычно имеет хорошую теплопроводность, что может помочь подложке лучше рассеивать тепло и улучшить эффект рассеивания тепла компонентами.

В целом, покрытие из карбида кремния CVD может обеспечить множественную защиту подложки, продлить срок ее службы и улучшить характеристики.


Основные физические свойства покрытия CVD SiC:

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE

Основные физические свойства покрытия CVD SiC
Свойство Типичное значение
Кристаллическая структура FCC β-фаза поликристаллическая, преимущественно (111) ориентированная
Плотность 3.21 г/см=
Твердость 2500 Vickers Твердость (нагрузка 500 г)
Размер зерна 2~10 мкм
Химическая чистота 99,99995%
Теплоемкость 640 Дж·кг-1·К-1
Температура сублимации 2700 ℃
изгибная прочность 415 МПа РТ 4-точечный
Модуль Юнга 430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Теплопроводность 300 Вт·м-1·К-1
Тепловое расширение (КТР) 4,5 × 10-6K-1


Производственные цеха:

VeTek Semiconductor Production Shop


Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Горячие Теги: Лоток для вафель
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept