SIC ICP

Технология травления ICP (индуктивно связанное с плазменным травлением) является точным процессом травления в производстве полупроводников, обычно используемым для высокопроизводительного и высококачественного переноса паттерна, особенно подходящего для глубокого травления отверстия, обработки микро-паттерна и т. Д.

ПолуконSIC SIC ICP Пластинга специально предназначена для процесса ICP с использованием высококачественных материалов SIC и может обеспечить отличную производительность в высокой температуре, сильной коррозийной и высокой энергетической среде. В качестве ключевого компонента для подшипника и поддержки,ICP ETCHПластина обеспечивает стабильность и эффективность во время процесса травления.

SIC ICPОсобенности продукта

● Высокая температурная толерантность

Пластина SIC ICP может противостоять изменению температуры до 1600 ° C, обеспечивая стабильное использование в высокой температурной среде травления ICP и избегая деформации или снижения производительности, вызванных колебаниями температуры.

●  Отличная коррозионная стойкость

Кремниевый карбид материалможет эффективно противостоять высоко коррозийным химическим веществам, таким как фторид водорода, хлорид водорода, серная кислота и т. Д., Которые могут подвергаться воздействию во время травления, гарантируя, что продукт не поврежден во время долгосрочного использования.

●  Низкий коэффициент термического расширения

SIC ICP Пластина травления имеет низкий коэффициент термического расширения, который может поддерживать хорошую стабильность размерных в среде высокой температуры, уменьшить напряжение и деформацию, вызванную изменениями температуры, и обеспечить точный процесс травления.

●  Высокая твердость и стойкость к износу

SIC имеет твердость до 9 мАч, что может эффективно предотвратить механический износ, который может возникнуть во время процесса травления, продлить срок службы и уменьшить частоту замены.

● eXcellent Теплопроводность

Отличная теплопроводность гарантирует, чтоSIC Trayможет быстро рассеять тепло во время процесса травления, избегая локального повышения температуры, вызванного накоплением тепла, что обеспечивает стабильность и однородность процесса травления.

При поддержке сильной технической команды Veteksemicon SIC ICP Tray выполнил различные сложные проекты и предоставляет индивидуальные продукты в соответствии с вашими потребностями. Мы с нетерпением ждем вашего запроса.

Основные физические свойства сердечно -сосудистых заболеваний: