Новости отрасли

В этой статье в основном обсуждаются соответствующие преимущества процесса и различия процесса молекулярно-лучевой эпитаксии и технологий металлоорганического химического осаждения из паровой фазы.

Пористый карбид Tantalum Vetek Semiconductor, как новое поколение материала роста кристаллов SIC, обладает множеством превосходных свойств продукта и играет ключевую роль в различных технологиях полупроводниковой обработки.

Принцип работы эпитаксиальной печи состоит в том, чтобы нанести полупроводниковые материалы на подложку при высокой температуре и высоком давлении. Силиконовый эпитаксиальный рост состоит в том, чтобы выращивать слой кристалла с той же ориентацией кристаллов, что и подложка и различная толщина на кремниевой монокристаллической субстрате с определенной ориентацией кристаллов. Эта статья в основном вводит методы кремния эпитаксиального роста: эпитаксика пара фазы и жидкой фазы.

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) в производстве полупроводников используется для нанесения в камере тонкопленочных материалов, включая SiO2, SiN и т. д., а наиболее часто используемые типы включают PECVD и LPCVD. Регулируя температуру, давление и тип реакционного газа, CVD достигает высокой чистоты, однородности и хорошего покрытия пленки для удовлетворения различных технологических требований.

В данной статье в основном описаны широкие перспективы применения карбидокремниевой керамики. Также основное внимание уделяется анализу причин спекания трещин в карбидокремниевой керамике и соответствующим решениям.