Суссептор с MOCVD-покрытием SiC

Технические параметры

КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА ПЛЕНКИ CVD SIC

Определение и состав продукта

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor — это компонент премиум-класса для крепления пластин, разработанный специально для эпитаксиальной обработки полупроводников третьего поколения, таких как GaN и SiC. Этот продукт сочетает в себе превосходные физические свойства двух высокоэффективных материалов:

Графитовая подложка высокой чистоты: Изготовлено с использованием технологии изостатического прессования, обеспечивающей исключительную структурную целостность основного материала, высокую плотность и стабильность при термической обработке.

CVD-покрытие SiC: Плотный, не подверженный напряжениям защитный слой карбида кремния (SiC) выращивается на поверхности графита с помощью передовой технологии химического осаждения из паровой фазы (CVD).

Почему ВЕТЭК — ваша гарантия урожайности

Высочайшая точность контроля температурной однородности: В отличие от обычных носителей, суцепторы VETEK обеспечивают высокосинхронизированную передачу тепла по всей поверхности за счет точного контроля толщины покрытия и термического сопротивления в нанометровом масштабе. Такое сложное управление температурным режимом эффективно минимизирует стандартное отклонение длины волны (STD) на поверхности пластины, значительно повышая как качество отдельной пластины, так и общую стабильность партии.

Долгосрочная защита с нулевым загрязнением частиц: В реакционных камерах MOCVD, содержащих высококоррозионные газы, обычные графитовые подставки склонны к отслаиванию частиц. Покрытие CVD SiC VETEK обладает исключительной химической инертностью, действуя как непроницаемый экран, закрывающий микропоры графита. Это обеспечивает полную изоляцию примесей подложки, предотвращая любое загрязнение эпитаксиальных слоев GaN или SiC.

Исключительная устойчивость к усталости и срок службы:Благодаря запатентованному процессу обработки интерфейса VETEK наше покрытие SiC обеспечивает оптимальное тепловое расширение, соответствующее графитовой подложке. Даже при высокочастотном термоциклировании между экстремальными температурами покрытие сохраняет превосходную адгезию, не отслаиваясь и не образуя микротрещин. Это значительно снижает частоту обслуживания запасных частей и снижает общую стоимость владения.

Наша мастерская