Кольцо для травления из кварца высокой чистоты

1.Ключевые особенности и преимущества

• Дегидроксилированный плавленый кварц полупроводникового качества с содержанием SiO₂ ≥ 99,999% и строго контролируемыми металлическими примесями.

• Стабильная непрерывная работа до 1100 °C, кратковременная работоспособность около 1200 °C.

• Высокая устойчивость к травильным препаратам на основе фтора и хлора и воздействию высокоэнергетической плазмы.

• Низкое тепловое расширение и хорошие характеристики термоудара при повторяющихся температурных циклах камеры.

• Низковакуумная дегазация для защиты давления в камере и состава технологического газа.

• Контроль размеров на микронном уровне с полированными контактными поверхностями для точного прилегания камеры и определения границ плазмы

• Конфигурируемые конструкции: плоские кольца, ступенчатые кольца для травления, фиксирующие/фиксирующие кольца и полностью индивидуальные профили для основных платформ инструментов для травления.

2.Типичные применения

Кольца для травления из кварца высокой чистоты используются в камерах процесса сухого плазменного травления для:

• Этапы плазменного травления логики и запоминающего устройства

• Процессы травления силовых устройств SiC и GaN

• Травление структуры с высоким соотношением сторон

• Плазменная обработка оптических и полупроводниковых подложек

• Усовершенствованное плазменное травление упаковки и сопутствующие этапы очистки.

• Лабораторные и производственные инструменты RIE/ICP для травления

3.Ключевые технические параметры

• Материал: дегидроксилированный плавленый кварц полупроводникового качества, SiO₂ ≥ 99,999 %.

• Совместимость пластин: кремний 2/4/6/8/12 дюймов, SiC, GaN и сапфир.

• Рабочая температура: от −20 °C до 1100 °C, непрерывно; кратковременный пик примерно 1200 °C

• Основные функции: удержание краев плазмы, направление потока газа, защита краев и изоляция камеры.

• Качество обработки: микронные допуски, полированные поверхности, контролируемые кромки и чистая отделка.

• Варианты конструкции: плоское кольцо, ступенчатое травленое кольцо, фиксирующее/фиксирующее кольцо и нестандартная геометрия.

• Настройка: внешний/внутренний диаметр, толщина, высота ступеньки, элементы расположения, фаски и детали интерфейса на чертеже.

4.Почему стоит выбрать кольца VeTek из кварца высокой чистоты?

VeTek Semiconductor поставляет критически важное кварцевое оборудование для инструментов травления и термической обработки. При травлении колец основное внимание уделяется:

• Чистота материала и чистота поверхности подходят для современных условий сухого травления.

• Точность размеров, обеспечивающая стабильный контроль границ плазмы и повторяемую посадку камеры.

• Гибкость конструкции для замены OEM-типа и полностью настраиваемые интерфейсы камер

• Полный ассортимент кварцевых компонентов, в который также входят держатели пластин, печные трубы, лодочки и сопутствующие технологические детали.

Сочетая в себе высокую чистоту, стойкость к плазме и строгий контроль геометрии, кольца VeTek для травления из кварца высокой чистоты помогают улучшить однородность травления по всей пластине, уменьшить дефекты, связанные с краями, а также поддерживать более длительные и стабильные производственные циклы в инструментах для сухого плазменного травления.