Продукты
Кварцевая лодка с высокой чистотой
  • Кварцевая лодка с высокой чистотойКварцевая лодка с высокой чистотой

Кварцевая лодка с высокой чистотой

Наша кварцевая лодка с высокой чистотой изготовлена ​​из слитого кварца (содержание SIO₂ ≥ 99,99%). Благодаря превосходной устойчивости к экстремальной среде, низкому коэффициенту термического расширения и длительным жизненным циклом, он стал незаменимым ключевым расходным материалом в полупроводнике и новой энергетической промышленности.


Кварцевые лодки с высокой чистотой представляют собой точные носители, изготовленные из сверхвысоких кварцевых материалов чистоты (содержание SIO₂ ≥ 99,99%), предназначенные для высокотемпературных процессов с высокой чистостью. Это устройство необходимо для таких процессов, как отжиг, диффузия, окисление и химическое осаждение паров (ССЗ), и широко используется в полупроводниках, фотоэлектрических и других областях. Его основное преимущество заключается в физической и химической стабильности самого материала.


Ⅰ. Превосходные физические свойства veteksemicon Quartz Quartz Boat


Характеристики
Конкретные параметры/производительность
Чистота
Содержание SiO₂ ≥99,99% (4N класса), примеси металлов (такие как Na, K, Fe) ≤10 ppm, чтобы избежать загрязнения чувствительных среде процесса.
Высокая температурная стойкость

Точка смягчения: ≥1660 ° C (краткосрочная допуск 1700 ° C); 

Температура непрерывного использования:1200 ° C (долгосрочная стабильность без деформации)

Коэффициент термического расширения
0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), близко к нулевому расширению, превосходное сопротивление теплового шока.
Химическая стабильность
Устойчив к сильной кислоте (кроме HF), сильных щелочи (при комнатной температуре) и устойчивы к коррозионным газам, таким как H₂ и Cl₂ при высоких температурах.
Оптические свойства
Ультрафиолетовое коэффициент UV-IR ≥90% (200 ~ 2500 нм), подходящая для прозрачных требований носителей в литографии и лазерных процессах.
Механическая прочность

Прочность на сжатие: ≥1200 МПа

Твердость поверхности (МОС): 7 (выше, чем обычное стекло)

Поверхностная отделка
RA≤0,2 мкм, уменьшение загрязнения частиц и улучшение выхода пластины.


Ⅱ. Основное использование и соответствующие преимущества продукта высокой чистотой кварцевой лодки


1. Полупроводниковые производства:


Конкретное использование: Инструменты для носителей в высокотемпературных диффузии, окислении, отжига и сердечно-сосудистых заболевании (химическое пары).


Преимущества продукта:

Ультра-низкое загрязнение: 99,99% чистых пластин, 99,99% лодок избегают загрязнения ионов металлов и обеспечивают электрические характеристики чипа.

Точный размер: Плохость лодки кварцевой пластины составляет ± 0,05 мм, что обеспечивает равномерное нагрев пластины (например, 12-дюймовая лодка пластины).

Долгая жизнь: Согласно фактическим данным производства, которые мы записали, лодки кварцевых пластин, которые мы производим, могут непрерывно использовать в течение более 1000 часов при 1200 ° C, что значительно снижает частоту замены (по сравнению с обычными кварцевыми лодками, жизнь увеличивается на 3 раза).


2. Фотоэлектрическая промышленность


Конкретное использование: В области производства фотоэлектрической промышленности, кварцевые лодки с высокой чистотой, обычно используются для кремниевых пластин в диффузии фосфора клеток PERC и процесса диффузии бора клеток Topcon.


Преимущества производительности:

Дизайн высокой нагрузки: Единственная лодка, которую мы производим, может нести 200 ~ 300 кремниевых пластин (толщина 160 ~ 180 мкм), значительно улучшая производственную мощность пластин на единицу времени.

Быстрое повышение и падение температуры: Ультра-низкий коэффициент термического расширения (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), близко к нулевому расширению) поддерживает снижение цикла процесса на 10% ~ 15%.

Эффект анти-пид: Нет осаждения ионов натрия во время процесса нагрузки кремниевой пластины снижает риск деградации, вызванной фото.


Ⅲ. Спецификации упаковки кварцевых лодок


Queteksemicon Quartz Lods будет использовать многослойную плотную упаковку, чтобы обеспечить целостность продукта во время хранения и транспорта.


В то же время Veteksemincon поддерживает индивидуальную расширенную конструкцию процесса, такую ​​как нестандартный размер (ошибка ± 0,1 мм), многослойный конструкция укладки (до 5 слоев) и высокотемпературное пленки (например, покрытие SIC). Добро пожаловать в дальнейшую консультацию.


Горячие Теги: Кварцевая лодка с высокой чистотой
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept