Кварцевая лодка с высокой чистотой

Кварцевые лодки с высокой чистотой представляют собой точные носители, изготовленные из сверхвысоких кварцевых материалов чистоты (содержание SIO₂ ≥ 99,99%), предназначенные для высокотемпературных процессов с высокой чистостью. Это устройство необходимо для таких процессов, как отжиг, диффузия, окисление и химическое осаждение паров (ССЗ), и широко используется в полупроводниках, фотоэлектрических и других областях. Его основное преимущество заключается в физической и химической стабильности самого материала.

Ⅰ. Превосходные физические свойства veteksemicon Quartz Quartz Boat

Ⅱ. Основное использование и соответствующие преимущества продукта высокой чистотой кварцевой лодки

1. Полупроводниковые производства:

Конкретное использование: Инструменты для носителей в высокотемпературных диффузии, окислении, отжига и сердечно-сосудистых заболевании (химическое пары).

Преимущества продукта:

● Ультра-низкое загрязнение: 99,99% чистых пластин, 99,99% лодок избегают загрязнения ионов металлов и обеспечивают электрические характеристики чипа.

● Точный размер: Плохость лодки кварцевой пластины составляет ± 0,05 мм, что обеспечивает равномерное нагрев пластины (например, 12-дюймовая лодка пластины).

● Долгая жизнь: Согласно фактическим данным производства, которые мы записали, лодки кварцевых пластин, которые мы производим, могут непрерывно использовать в течение более 1000 часов при 1200 ° C, что значительно снижает частоту замены (по сравнению с обычными кварцевыми лодками, жизнь увеличивается на 3 раза).

2. Фотоэлектрическая промышленность

Конкретное использование: В области производства фотоэлектрической промышленности, кварцевые лодки с высокой чистотой, обычно используются для кремниевых пластин в диффузии фосфора клеток PERC и процесса диффузии бора клеток Topcon.

Преимущества производительности:

● Дизайн высокой нагрузки: Единственная лодка, которую мы производим, может нести 200 ~ 300 кремниевых пластин (толщина 160 ~ 180 мкм), значительно улучшая производственную мощность пластин на единицу времени.

● Быстрое повышение и падение температуры: Ультра-низкий коэффициент термического расширения (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), близко к нулевому расширению) поддерживает снижение цикла процесса на 10% ~ 15%.

● Эффект анти-пид: Нет осаждения ионов натрия во время процесса нагрузки кремниевой пластины снижает риск деградации, вызванной фото.

Ⅲ. Спецификации упаковки кварцевых лодок

Queteksemicon Quartz Lods будет использовать многослойную плотную упаковку, чтобы обеспечить целостность продукта во время хранения и транспорта.

В то же время Veteksemincon поддерживает индивидуальную расширенную конструкцию процесса, такую ​​как нестандартный размер (ошибка ± 0,1 мм), многослойный конструкция укладки (до 5 слоев) и высокотемпературное пленки (например, покрытие SIC). Добро пожаловать в дальнейшую консультацию.