Услуги по очистке графитовых деталей с CVD-покрытием SiC

1. Проблемы, с которыми вы можете столкнуться

• Слой AlN трудно удалить:Термическая очистка при 1300°C по-прежнему не может эффективно протравить остаточный слой AlN.

• Эффект повторяющейся памяти:Эффект поверхностной памяти приводит к нестабильному потоку газа в реакторе, что влияет на стабильность процесса.

• Влияние цикла очисткитс Пропускная способность:Обычно каждые 16 технологических циклов (4–5 токоприемников) требуют внешней очистки.

• Опасения по поводу повреждения дорогостоящего покрытия:Отсутствие собственного опыта химической очистки заставляет операторов не решаться на агрессивную очистку.

2. Наше решение – разработано для процессов GaN/AlN/AlGaN.

• Профессиональная уборка:Индивидуальный процесс, специально разработанный для графитовых деталей с CVD-покрытием SiC. Никакой химической формулы от клиента не требуется.

• Безопасность покрытия:Строго защищает покрытие CVD SiC толщиной 100 мкм. Абсолютная нулевая потеря толщины после очистки.

• Поддающиеся проверке результаты:Полный сертификат анализа (COA), охватывающий пять основных аспектов. Данные готовы к архивированию и проверке качества.

3. Пять основных критериев приемки

Строго соответствует критическим требованиям пользователей эпитаксии полупроводников:

1. Нулевая потеря покрытия– Толщина покрытия SiC никогда не уменьшается после очистки (проверка сравнения толщины до и после).

2. Отсутствие деформации поверхности.– Плоскостность и геометрическая точность строго проверяются на предмет отсутствия физической деформации.

3. Устранить эффект памяти– РФЭС-анализ остатков Al/Ga подтверждает тщательное удаление источников эффекта памяти.

4. Нулевой металлический остаток– ICP-MS-тестирование на наличие Fe, Cu, Ni и других металлов подтверждает отсутствие остаточных металлических примесей.

5. Никаких лишних частиц– Тест на частицы QIII плюс проверка чистоты предотвращают нестабильность потока газа, вызванную остаточными частицами.

4. Проверка доставки и отчет о сертификате подлинности

Каждая партия поставляется с полными данными проверки по пяти основным параметрам:

5. Применимые продукты и история процесса

Параметры продукта

Процесс обслуживания

1. Запрос– Отправьте фотографии детали/модель/количество для оценки.

2. Котировка– Техническая оценка и подробное предложение по очистке с расценками.

3. Доставка– Отправьте нам детали или организуйте самовывоз.

4. Очистка— Профессиональная чистка + полный многоплановый осмотр.

5. Отчет– Выдан сертификат подлинности и возвращены очищенные детали.

6. Последующие действия– Отслеживание эффекта и постоянная техническая поддержка.

6. Почему стоит выбрать клининговую службу VETEK?

VETEK сочетает в себе глубокий опыт в технологии нанесения покрытий CVD SiC со специальными возможностями очистки дорогостоящих графитовых токоприемников. Мы понимаем решающую важность целостности покрытия, контроля частиц и чистоты процесса эпитаксии GaN/AlN. Наш сервис предназначен для клиентов, которым требуется абсолютная безопасность для дорогих CVD-покрытий SiC, при этом полностью решаемые проблемы эффекта памяти и нестабильности газового потока.

· Возможна пробная очистка для проверки мелкой партии

· Полный отчет о сертификате подлинности предоставляется при каждой доставке

· Нулевой риск повреждения покрытия или нового загрязнения

· Профессиональный · Безопасный · Поддающийся проверке