Графитовый токоприемник с покрытием CVD SiC для носителя пластины

1. Преимущества продукта

• Материал высокой чистоты:Графитовый материал полупроводникового класса и плотная структура покрытия SiC минимизируют риски загрязнения и повышают надежность графитового токоприемника с CVD-покрытием SiC.
• Превосходная термическая однородность:Оптимизированная структура графита и покрытие SiC обеспечивают стабильную теплопередачу и равномерный контроль температуры пластины.
• Превосходная химическая стойкость:Плотное покрытие SiC обеспечивает высокую устойчивость к технологическим газам и агрессивным средам.
• Длительный срок службы:Высокая твердость и износостойкость повышают долговечность в условиях высокотемпературной эпитаксии.
• Низкое образование частиц:Плотная поверхность CVD SiC уменьшает выброс частиц и повышает надежность процесса производства пластин.
• Возможности индивидуального дизайна:Доступны в различных размерах, конструкциях и конфигурациях в зависимости от требований к оборудованию.

2. Технические характеристики

3. Приложения

• Процесс эпитаксии SiC:Графитовый токоприемник используется в качестве носителя пластины в оборудовании для эпитаксии SiC, поддерживая подложки SiC во время высокотемпературного эпитаксиального выращивания.
• Процесс кремниевой эпитаксии:Применяется в кремниевых эпитаксиальных реакторах для поддержки пластин и поддержания стабильного теплового режима.
• MOCVD-эпитаксии:Графитовые токоприемники VETEK подходят для MOCVD, светодиодной эпитаксии, эпитаксии GaN, эпитаксии кремния и других процессов производства полупроводников, требующих превосходной термической однородности и химической стабильности.
• Оборудование для производства полупроводников:Совместим с различными платформами эпитаксии, включая горизонтальные печи LPE, Aixtron, NuFlare и соответствующее полупроводниковое оборудование.

4. Почему выбирают ВЕТЕК?

VETEK предлагает индивидуальные решения для графитовых токоприемников с покрытием CVD SiC, объединяющие очистку графита, прецизионную обработку, покрытие CVD и возможности контроля. Наши графитовые токоприемники полупроводникового класса отличаются высокой чистотой, равномерной толщиной покрытия, отличными тепловыми характеристиками и длительным сроком службы для требовательных применений в области подложек.