Руководство по выбору

Выбор правильного покрытия CVD SiC, TaC или Solid SiC напрямую определяет уровень частиц и срок службы компонентов на линиях эпитаксии/травления. В этой статье представлены четкие границы выбора по температуре, атмосфере и процессу, а также основные решения по замене оборудования и ключевые показатели, которые помогут вам быстро принимать решения и снижать риски.