Керамический электростатический патрон из нитрида алюминия (AlN)

1.Преимущества

• Керамика AlN высокой чистоты с теплопроводностью до ~ 180 Вт/м·К для эффективной теплопередачи и однородности температуры.

• Прочная электрическая изоляция и высокое объемное сопротивление обеспечивают стабильное зажимание при напряжении 1–3 кВ (доступны более высокие напряжения).

• Нестандартные материалы диэлектрического слоя и расположение электродов: Кулона или Джонсена-Рабека (JR); одно- или многозонный

• Быстрое зажимание и разжима, обычно менее 0,1 секунды.

• Микроструктуры с ямочками на поверхности диаметром до ~300 мкм, что уменьшает площадь контакта до ~1%

• Высокая способность к плоскостности; типичная глобальная плоскостность порядка 0,5–3 мкм PV для платформ класса 300 мм.

• Плотная микроструктура с почти нулевым водопоглощением и хорошей химической стойкостью для технологических сред.

2.Типичные применения

Керамические электростатические патроны из нитрида алюминия используются на этапах процесса, требующих как надежного удержания пластины, так и контролируемого теплового поведения:

• Сухое плазменное травление (ICP/RIE) и связанные с ним камерные процессы

• CVD, PEALD, термический ALD и другие этапы осаждения тонких пленок.

• Модули отжига и термического процесса, требующие равномерной температуры пластин.

• Этапы контроля, метрологии и точности, где решающее значение имеют низкий уровень частиц и стабильный зажим.

3.Марки материалов AlN – типичные свойства

VeTek предлагает несколько марок нитрида алюминия, чтобы сбалансировать теплопроводность, механическую прочность и стоимость конструкций регуляторов скорости:

Единицы: Теплопроводность в Вт/(м·К); электрическая прочность в кВ/мм; объемное сопротивление в Ом·см (25 °С); диэлектрическая проницаемость на частоте 1 МГц. Значения являются типичными и могут меняться в зависимости от геометрии процесса и детали.

4.Типичные параметры конструкции ЭКУ

5.Почему ЧуВы используете электростатические патроны VeTek AlN?

VeTek Semiconductor объединяет передовую керамику AlN с прецизионным производством ESC для клиентов, производящих полупроводники, которым необходимы как тепловые характеристики, так и надежный зажим:

• Несколько марок AlN с теплопроводностью от ~90 до ~180 Вт/м·К для соответствия тепловому балансу процесса.

• Гибкая конструкция электрода и диэлектрика для кулоновского или JR-зажима.

• Тщательный контроль плоскостности, микроструктуры поверхности и характеристик электроизоляции.

• Поддержка полного жизненного цикла: проектирование, новое строительство и многоуровневая реконструкция.

Для инструментов травления, осаждения и термической обработки, которые зависят от равномерной температуры пластины и чистого, повторяемого зажима, керамические электростатические патроны VeTek из нитрида алюминия представляют собой высокопроизводительную керамическую платформу, подкрепленную инженерной поддержкой, ориентированной на конкретные приложения.