Компоненты планетарного реактора Aixtron G10 Solid SiC

1. Ключевые особенности и преимущества

• Полностью плотная, не содержащая связующих веществ структура Solid SiC для превосходной износостойкости и коррозионной стойкости.

• Отличная теплопроводность и устойчивость к термоударам при температурах выше 1500 °C.

• Сверхнизкое образование частиц и высокая чистота, минимизирующая риск загрязнения.

• Выдающаяся химическая инертность по отношению к технологическим газам, используемым при эпитаксии SiC.

• Длительный срок службы при многократном циклическом воздействии высоких температур.

• Прецизионная обработка с соблюдением жестких допусков на размеры обеспечивает надежную посадку и стабильность процесса.

 2. Типичные применения

Эти аксессуары из твердого карбида кремния используются в ключевых функциональных областях реактора Aixtron G10, в том числе:

• Защитные панели и отдельные элементы крышки.

• Защитные кольца и быстроизнашивающиеся компоненты

• Прецизионные штифты, шайбы и мелкие детали конструкции.

• Другие специальные вставки высокой чистоты, подвергающиеся интенсивному потоку газа или термической нагрузке.

Они поддерживают стабильное распределение температуры, равномерную подачу газа и низкую плотность дефектов во время эпитаксиального роста SiC в больших объемах для силовых МОП-транзисторов, диодов и связанных с ними широкозонных устройств.

3. Почему стоит выбрать VeTek Solid SiC для Aixtron G10?

Являясь специализированным производителем материалов полупроводникового класса, VeTek Semiconductor предлагает:

• Компоненты из твердого карбида кремния высокой чистоты, специально разработанные для систем Aixtron G10, например: защитное кольцо, внутренняя/внешняя крышки, опускающаяся/опорная пластина, сателлитный диск, токоприемник.

• Строгий контроль чистоты и прецизионная обработка на станке с ЧПУ.

• Дополнительные решения, включая графит с CVD-покрытием SiC и детали с покрытием TaC для полного покрытия теплового поля.

• Индивидуальные конструкции, соответствующие конкретным технологическим условиям и конфигурациям реакторов.

Наши аксессуары из твердого карбида кремния помогают клиентам максимизировать преимущества производительности платформы Aixtron G10 — высокую производительность пластин, превосходную толщину и однородность легирования, а также конкурентоспособную стоимость владения — одновременно продлевая срок службы компонентов и снижая потери текучести, связанные с частицами.