Кольцо с тремя лепестками с покрытием TaC

VeTek Semiconductor является профессиональным производителем и поставщиком трехлепестковых колец с покрытием TaC в Китае. Трехлепестковое кольцо с покрытием TaC используется в системе осаждения Aixtron G10 для составных полупроводников, эпитаксии G10-GaN с высокой пропускной способностью 150/200 мм для силового и радиочастотного GaN. приложения.

По полупроводниковой TAC Cotent Patement-новое поколение высокотемпературного материала, с лучшей высокой температурной стабильностью, чем SIC, в качестве коррозионного покрытия, устойчивое к окислению покрытие, устойчивое к износу покрытие, может использоваться в среде выше 2000 года, широко используется в Аэрокосмическая сверхвысокая температурная чашки горячего конца, третье поколение полупроводникового роста монокристаллов и других полей.

Особенности продукта:

1. Высокая чистота, содержание примесей <5 ppm.

2. Высокая термостойкость, коррозионная стойкость, высокая плотность, высокая плотность.

3. Он химически инертен по отношению к аммиаку, водороду, силану и кремнию при высоких температурах и обладает хорошей термической стабильностью.

4. Устойчивость к термическому удару позволяет ускорить рабочий цикл.

5. Сильная графитовая адгезия обеспечивает длительный срок службы и отсутствие расслоения покрытия.

6. Строгие допуски на размеры.

Основные приложения:

1. Эпитаксиальный рост

2. Рост монокристаллов

3. Высокая температурная диверсия коррозии

4. Высокотемпературное и устойчивое к окислению сопло.

5. Лопатки газовой турбины.

Параметр продукта тройного кольца TAC, покрытого трехлетним кольцом

Цех по производству полупроводников ВеТек: