Кремний на изоляторной пластине

Рабочий принципЭто полупроводникСКремний на изоляторе пластиныВ основном опирается на его уникальную структуру и свойства материала. И SOI пластинаСостоит из трех слоев: верхний слой представляет собой однокристаллический слой кремниевого устройства, середина представляет собой изоляционный погребенный оксид (коробку), а нижний слой-поддерживающий кремниевый субстрат.

Структура кремния на изоляционных пластинах (SOI)

Формирование изоляционного слоя: Кремний на изоляционном пластине обычно производится с использованием технологии Smart Cut ™ или технологии Simox (разделение с помощью имплантированного кислорода). Технология Smart Cut ™ внедряет ионы водорода в кремниевую пластину с образованием пузырькового слоя, а затем связывает пластину, инъецированную водоворотпластинаПолем 

После термической обработки пластина, инъецированная водоемодом, разделяется от пузырькового слоя, образуя структуру SOI.Simox TechnologyИмплантаты высокоэнергетические ионы кислорода в кремниевые пластины с образованием слоя оксида кремния при высоких температурах.

Уменьшить паразитическую емкость: Слой коробкиКремниевая карбида пластиныЭффективно изолирует слой устройства и базовый кремний, значительно восстанавливаетсяG Паразитическая емкость. Эта изоляция снижает энергопотребление и увеличивает скорость и производительность устройства.

Избегайте эффектов защелки: Устройства N-Well и P-Well вSOI пластинаполностью изолированы, избегая эффекта защелки в традиционных структурах CMOS. Это позволяетпластинка Сой быть изготовленным на более высоких скоростях.

Функция остановки травления:монокристаллический кремниевый слой устройстваи структура слоя коробки SOI пластин облегчает производство MEMS и оптоэлектронных устройств, обеспечивая отличную функцию остановки травления.

Через эти характеристики,Кремний на изоляторной пластинеиграет важную роль в обработке полупроводников и способствует непрерывной разработке интегрированной схемы (IC) имикроэлектромеханические системы (MEMS)промышленность. Мы искренне с нетерпением ждем дальнейшего общения и сотрудничества с вами.

Параметр спецификации Sol -пластин 200 мм:

Силикон на производственных магазинах с изоляторами: