Эпиприемник с покрытием SiC

Vetek Semiconductor является профессиональным производителем эпи-рецепторов с SiC-покрытием в Китае.

Эпи-сунсцептор с карбидным покрытием VeTek Semiconductor изготовлен из графита и карбида кремния. В этом продукте с покрытием SiC используется импортный графит, который имеет более стабильные характеристики и длительный срок службы и высоко оценен нашими европейскими и американскими клиентами. В то же время концентрация SiC Coating Epi Susceptor составляет менее 5 частей на миллион, а однородность очень хорошая. После постоянной технологической модернизации VeTek Semiconductor использует новый процесс, обеспечивающий хорошее соответствие коэффициента теплового расширения покрытия SiC и графитовых материалов.

SIC Coating Epi Pempector специально используется в высокой температуре и коррозионной среде в полупроводниковом оборудовании. SIC Coating Epi Repector обычно используется в оборудовании, таком как Aixtron, особенно в процессе Deep Ultraviolet Epitaxy (Epitaxy Duv), играя ключевую роль.

В процессе эпитаксии глубоким ультрафиолетом (DUV Epitaxy) в сочетании с превосходной устойчивостью к высоким температурам и коррозии SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Epi Susceptor обычно устанавливается вокруг реакционной камеры в оборудовании AIXTRON в качестве носителя во время процесса эпитаксии из повреждение или загрязнение оборудования.

Это SIC Coating Epi Repector предназначено для глубокой ультрафиолетовой эпитаксии. Мы строго контролируем карбин кремниевого карбида, включаем технологию буферных слоев, чтобы уменьшить проблемы, вызванные различиями в коэффициентах теплового расширения между графитовыми и кремниевыми карбидными покрытиями, тем самым продряя срок службы продукта. В настоящее время наш продукт получил многочисленные награды и признан одним из лучших на внутреннем рынке.

Являясь лидером отрасли в области продукции с SiC-покрытиями, VeTek Semiconductor поддерживает услуги по индивидуальной настройке продукции и обеспечивает приемлемые цены на продукцию, а также надеется на ваши дальнейшие консультации.

SEM Данные CVD SIC Film:

Vetek Semiconductor SIC SIC Skirt Shooks Shops:

Обзор производственной цепочки эпитаксии полупроводниковых чипов: