SIC, покрытое герметичным кольцом для эпитаксии

Ⅰ. Что такое кольцо с покрытием SIC?

Зерновое кольцо с покрытием SIC (кольцо с карбиновым покрытием из карбида) представляет собой компонент точного уплотнения, предназначенный для высокотемпературных, высоко коррозийных полупроводниковых процессов. Его ядро-это процесс химического осаждения пара (CVD) или физического осаждения пара (PVD), поверхность субстрата графитового или углеродного композитного материала, равномерно покрытую слоем карбида с высокой чистотой карбидом (SIC), образованием как механической прочности подложки, так и покрытия герметизационных свойств высокой экспрессии.  

Ⅱ. Состав продукта и основные технологии  

1. Субстратный материал:

Графит или углеродный композитный материал: Базовый материал имеет преимущество высокой теплостойкости (может противостоять более 2000 ℃) и низкий коэффициент теплового расширения, что обеспечивает тем самым размерную стабильность в экстремальных условиях, таких как высокая температура.  

Точная обработка: Конструкция точности кольца может быть идеально адаптирована к полости полупроводникового оборудования, что обеспечивает плоскостность герметичной поверхности и хорошей густоте.  

2. Функциональное покрытие:  

Покрытие SIC с высокой чистотой (чистота ≥99,99%): Толщина коаирования обычно составляет 10-50 мкм, через процесс сердечно-сосудистых заболеваний, образуя слой плотной не пористую поверхностную структуру, придавая поверхности герметичного кольца превосходную химическую инертность и механические свойства.

Ⅲ. Основные физические свойства и преимущества

Уплотнительные кольца с покрытием SIC Veteksemicon идеально подходят для процессов эпитаксии полупроводников из-за их превосходной производительности в экстремальных условиях. Ниже приведены конкретные физические свойства продукта:

IV Основные приложения в обработке эпитаксии с полупроводникой  

Зерновое кольцо с покрытием SIC используется в основном при MOCVD (металлическая органическая химическая осадка из пара) и MBE (эпитаксия молекулярного луча) и другое обработчик, конкретные функции включают в себя:  

1. Защита от реакционной камеры для полупроводникового оборудования.

Наши уплотнительные кольца с покрытием SIC гарантируют, что размерные допуски (обычно в пределах ± 0,01 мм) раздела с камерой оборудования (например, фланец, базовый вал) максимально невелики, настраивая структуру кольца. 

В то же время, герметизирующее кольцо отличается точностью обработана с использованием машин с ЧПУ, чтобы обеспечить равномерную подгону вокруг всей окружности поверхности контакта, устраняя микроскопические зазоры. Это эффективно предотвращает утечку газов процесса (например, H₂, NH₃), обеспечивает чистоту среды роста эпитаксиального уровня и повышает доход от пластины.  

С другой стороны, хорошая газовая стеснение также может блокировать вторжение внешних загрязняющих веществ (O₂, H₂O), что эффективно избегает дефектов в эпитаксиальном слое (например, дислокации, неравномерное легирование примесей).  

2. высокая температурная динамическая опора герметизации  

Принятие принципа синергетической анти-деформации, покрывающего субстрат: из-за низкого коэффициента теплового расширения графита (CTE ≈ 4,5 × 10-⁶/° C) очень мал, и при экстремальных высоких температурах (＞ 1000 ℃) расширение является только на 1/5 от количества герметиков металлов, что эффективно избегает уплотнения на поверхности. В сочетании с сверхвысокой твердостью покрытия SIC (HV2500 или более) он может эффективно противостоять царапинам на герметизирующей поверхности, вызванной механической вибрацией или воздействием частиц, и поддерживать микроскопическую плоскостность.

V. Рекомендации по техническому обслуживанию

1. Регулярно проверить износ поверхности уплотнения (рекомендуется избежать внезапного разрушения.  

2. Используйте специальные чистящие средства (такие как безводный этанол) для удаления отложений, запрещают механическое измельчение, чтобы предотвратить повреждение покрытия SIC.