Новости

Кварцевые материалы высокой чистоты играют жизненно важную роль в полупроводниковой промышленности. Их превосходная устойчивость к высоким температурам, коррозионная стойкость, термическая стабильность и светопроницаемость делают их важными расходными материалами. Изделия из кварца используются для изготовления компонентов как в высокотемпературных, так и в низкотемпературных зонах производства пластин, обеспечивая стабильность и чистоту производственного процесса.

Благодаря глобальному энергетическому переходу, революции искусственного интеллекта и волне информационных технологий нового поколения карбид кремния (SiC) быстро превратился из «потенциального материала» в «стратегический основополагающий материал» благодаря своим исключительным физическим свойствам.

В полупроводниковых высокотемпературных процессах обработка, поддержка и термическая обработка пластин зависят от специального вспомогательного компонента — вафельного лодочки. По мере повышения температуры процесса и увеличения требований к чистоте и контролю частиц в традиционных лодочках для кварцевых пластин постепенно обнаруживаются такие проблемы, как короткий срок службы, высокие скорости деформации и плохая коррозионная стойкость.