Новости

С точки зрения применения монокристаллического роста SIC в этой статье сравниваются основные физические параметры покрытия TAC и покрытия SIC и объясняют основные преимущества покрытия TAC по сравнению с покрытием SIC с точки зрения высокой температурной устойчивости, сильной химической стабильности, пониженной примеси и и более низкие затраты.

На фабрике есть много типов измерительного оборудования. Общее оборудование включает в себя оборудование измерения процесса литографии, оборудование измерения процесса травления, оборудование измерения процесса отложения тонкого пленки, оборудование измерения процесса легирования, оборудование измерения процесса CMP, оборудование для обнаружения частиц пластин и другое измерительное оборудование.

Покрытие из карбида тантала (TaC) может значительно продлить срок службы графитовых деталей за счет улучшения устойчивости к высоким температурам, коррозии, механических свойств и возможностей терморегулирования. Его высокие характеристики чистоты уменьшают загрязнение примесями, улучшают качество выращивания кристаллов и повышают энергоэффективность. Он подходит для производства полупроводников и выращивания кристаллов в высокотемпературных и агрессивных средах.

Траковые карбиды (TAC) широко используются в полупроводниковом поле, главным образом для компонентов реактора эпитаксиального роста, ключевых компонентов монокристалля, высокотемпературных промышленных компонентов, обогревателей системы MOCVD и носителей пластин.