Новости

Стоит ли вкладывать средства в CVD Solid SiC? Сравните окупаемость монолитного SiC и традиционных графитовых покрытий. Узнайте, как превосходная стойкость к плазме и расширенный MTBC приводят к снижению процента брака пластин и увеличению времени безотказной работы оборудования для 12-дюймовых линий HVM.

Материалы высокой чистоты необходимы для производства полупроводников. Эти процессы включают в себя сильную жару и агрессивные химические вещества. CVD-SiC (карбид кремния, полученный методом химического осаждения из паровой фазы) обеспечивает необходимую стабильность и прочность. В настоящее время он является основным выбором для деталей современного оборудования из-за его высокой чистоты и плотности.

В мире полупроводников из карбида кремния (SiC) наибольшее внимание уделяется 8-дюймовым эпитаксиальным реакторам или тонкостям полировки пластин. Однако, если мы проследим цепочку поставок до самого начала — внутри печи физического транспорта пара (PVT), — незаметно происходит фундаментальная «материальная революция».