Новости отрасли

В полупроводниковых высокотемпературных процессах обработка, поддержка и термическая обработка пластин зависят от специального вспомогательного компонента — вафельного лодочки. По мере повышения температуры процесса и увеличения требований к чистоте и контролю частиц в традиционных лодочках для кварцевых пластин постепенно обнаруживаются такие проблемы, как короткий срок службы, высокие скорости деформации и плохая коррозионная стойкость.

Для промышленного производства подложек из карбида кремния успех одного цикла выращивания не является конечной целью. Настоящая задача заключается в обеспечении того, чтобы кристаллы, выращенные с использованием различных партий, инструментов и периодов времени, сохраняли высокий уровень постоянства и повторяемости качества. В этом контексте роль покрытия из карбида тантала (TaC) выходит за рамки базовой защиты — оно становится ключевым фактором в стабилизации технологического окна и обеспечении выхода продукта.

PVT-рост карбида кремния (SiC) включает в себя суровые температурные циклы (комнатная температура выше 2200 ℃). Огромное тепловое напряжение, возникающее между покрытием и графитовой подложкой из-за несоответствия коэффициентов теплового расширения (КТР), является основной проблемой, определяющей срок службы покрытия и надежность его применения.