Новости отрасли

Покрытие из карбида тантала (TaC) может значительно продлить срок службы графитовых деталей за счет улучшения устойчивости к высоким температурам, коррозии, механических свойств и возможностей терморегулирования. Его высокие характеристики чистоты уменьшают загрязнение примесями, улучшают качество выращивания кристаллов и повышают энергоэффективность. Он подходит для производства полупроводников и выращивания кристаллов в высокотемпературных и агрессивных средах.

Траковые карбиды (TAC) широко используются в полупроводниковом поле, главным образом для компонентов реактора эпитаксиального роста, ключевых компонентов монокристалля, высокотемпературных промышленных компонентов, обогревателей системы MOCVD и носителей пластин.

Во время процесса эпитаксиального роста SIC может произойти сбой суспензии с графитом SIC. В этой статье проводится тщательный анализ явления сбоя суспензии графита с покрытием SIC, который в основном включает в себя два фактора: эпитаксиальный газовый отказ SIC и разрушение покрытия SIC.

В этой статье в основном обсуждаются соответствующие преимущества процесса и различия процесса молекулярно-лучевой эпитаксии и технологий металлоорганического химического осаждения из паровой фазы.