Кварцевая пластинка с высокой чистотой

Кварцевая вафельная лодка высокой чистоты VeTek Semiconductor изготовлена ​​из кварца сверхвысокой чистоты, который обладает характеристиками низкого содержания гидроксила, высокой чистоты и сильной устойчивости к высоким температурам. Этот материал также широко используется в полупроводниковой промышленности в качестве материала для диффузионных печей и компонентов печей CVD. В качестве контейнера для переноски кремниевых пластин кварцевые пластины высокой чистоты используются в полупроводниковой, фотоэлектрической, химической и других областях.

Сценарии приложения

Во -первых, это поле полупроводника. Очень важен процесс термической обработки, включая тепловое окисление, диффузию, отжиг и т. Д. Благодаря процессу термической обработки мы даем новые характеристики.

Плачковые пробирки ядра для ядра используются для процессов обработки полупроводниковых пластин, таких как термическое окисление, диффузия высокой температуры, отжиг и тонкоплентный осаждение. Пакетная нагревательная печь в основном используется для нагрева корпуса печи с помощью катушек для завершения термической обработки. В соответствии с различными рабочими конструкциями, ядро ​​-пробирки партийной печи можно разделить на горизонтальные печи и вертикальные печи:

(1) Лодочка из кварцевых пластин высокой чистоты горизонтальной печи расположена горизонтально, поэтому ее называют горизонтальной печью.

В процессе термообработки пластину загружают в лодочку для кварцевых пластин высокой чистоты, медленно отправляют в трубку кварцевой печи, а пластину помещают в зону с постоянной температурой для обработки. После ожидания завершения процесса кварцевую лодочку с использованной пластиной медленно вынимают из кварцевой печи, чтобы предотвратить повреждение пластины из-за резких изменений температуры. Горизонтальные печи широко используются в процессе диффузии интегральных схем с диаметром пластин менее 200 мм. 

Преимущества горизонтальных печей - это простой процесс, хорошая однородность между пластинами и способность обрабатывать несколько пластин одновременно. Недостатки - это медленная скорость нагрева, большой размер оборудования, сложность автоматизации и легкий вход внешнего воздуха при загрузке и разгрузке пластин.

(2) Лодочка из кварцевой пластины высокой чистоты вертикальной печи расположена вертикально, поэтому ее называют вертикальной печью.

Пластина загружается на кварцевую башню и медленно поднимается в трубку кварцевой печи для нагрева. Во время процесса нагревания лодка с высокой чистотой пластиной будет медленно вращаться, чтобы гарантировать, что пластина равномерно нагревается. После обработки кварцевая башня будет медленно спускаться, чтобы избежать изменений температуры, которые могут вызвать повреждение пластины. Вертикальные печи в основном используются в интегрированном процессе цепи 200 мм и 300 мм пластиков диаметром. Основная технология вертикальных печей заключается в управлении полем высокой температуры, контролем частиц, микрооплате с микроокружением микро-среда. Преимущества вертикальных печей - это тонкий натуральный оксидный слой, хорошая однородность, легкая автоматизация, следование небольшого оборудования и переработка партии. Недостатком является то, что скорость нагрева медленная.

В фотоэлектрической области процесс производства фотоэлектрических элементов требует кварцевых лодочек для перевозки и транспортировки кремниевых пластин в процессе высокотемпературной диффузии. Высокотемпературная обработка в атмосфере азота, кислорода или другого инертного газа высокой чистоты, такая как диффузия фосфора или диффузия бора, является важным этапом в процессе производства солнечных элементов. Цель состоит в том, чтобы сформировать PN-переход на кремниевой пластине.

Кварцевая лодочка имеет внутри точно спроектированные прорези, обеспечивающие сохранение точного положения кремниевой пластины во время процесса высокотемпературной диффузии и равномерный нагрев. Поскольку кварцевый материал обладает хорошей термостойкостью и химической стабильностью, он не загрязняет кремниевую пластину, что способствует поддержанию высокой чистоты производственной среды.

В качестве новатора и лидера в вафеле китайского рынка кварцевых лодок использовались независимо от того, занимаетесь ли вы в полупроводниковой промышленности или в фотоэлектрической промышленности, если вам понадобится лодка с высокой чистотой кварцевой пластиной, пожалуйста, спросите у нас цитату, и мы сможем изменить это для вас в соответствии с вашими потребностями.

ВеТек Полупроводник магазины продуктов: