Продукты
CVD SIC Focus Ring
  • CVD SIC Focus RingCVD SIC Focus Ring

CVD SIC Focus Ring

Vetek Semiconductor является ведущим внутренним производителем и поставщиком CVD SIC Focus Rings, посвященным обеспечению высокопроизводительных, высокопроизводительных решений для продуктов для полупроводниковой промышленности. Кольцевые кольца CVD SIC Vetek Semiconductor используют технологию передового химического отложения пара (CVD), обладают превосходной высокотемпературной сопротивлением, коррозионной стойкостью и теплопроводности и широко используются в процессах полупроводниковой литографии. Ваши запросы всегда приветствуются.

В качестве основы современных электронных устройств и информационных технологий, полупроводниковые технологии стали незаменимой частью современного общества. От смартфонов до компьютеров, коммуникационного оборудования, медицинского оборудования и солнечных батарей, почти все современные технологии основаны на производстве и применении полупроводниковых устройств.


Поскольку требования к функциональной интеграции и производительности электронных устройств продолжают расти, технология полупроводниковых процессов также постоянно развивается и улучшается. В качестве основной связи в полупроводниковой технологии процесс травления напрямую определяет структуру и характеристики устройства.


Процесс травления используется для точного удаления или регулировки материала на поверхности полупроводника, чтобы сформировать желаемую структуру и схему цепи. Эти структуры определяют производительность и функциональность полупроводниковых устройств. Процесс травления способен достичь точности уровня нанометра, которая является основой для производства высокопроизводительных интегрированных цепей (ICS).


Кольцо с фокусом CVD SIC является основным компонентом в сухом травлении, в основном используемом для фокусировки плазмы, чтобы она имела более высокую плотность и энергию на поверхности пластины. Он имеет функцию равномерно распределения газа. Vetek Semiconductor выращивает SIC -слой за слоем через процесс сердечно -сосудистых заболеваний и, наконец, получает фокусное кольцо CVD SIC. Подготовленное фокусное кольцо CVD может идеально соответствовать требованиям процесса травления.


CVD SiC Focus Ring working diagram

Фокусное кольцо CVD отлично подходит для механических свойств, химических свойств, теплопроводности, высокой температурной устойчивости, устойчивости к ионному травлению и т. Д.


● Высокая плотность уменьшает объем травления

● Высокая лента и отличная изоляция

● Высокая теплопроводность, низкий коэффициент расширения и сопротивление теплового шока

● Высокая эластичность и хорошее механическое воздействие

● Высокая твердость, стойкость к износу и коррозионная стойкость


Vetek Semiconductor обладает ведущими возможностями обработки кольца CVD Focus в Китае. Между тем, зрелая техническая команда и команда продаж Vetek Semiconductor помогают нам предоставить клиентам наиболее подходящие продукты Focus Ring. Выбор полупроводника Vetek означает партнерство с компанией, которая обязана раздвигать границыCVD Силиконовый карбид инновации.


С большим акцентом на качество, производительность и удовлетворенность клиентов мы доставляем продукты, которые не только соответствуют, но и превышают строгие требования полупроводниковой промышленности. Позвольте нам помочь вам добиться большей эффективности, надежности и успеха в ваших операциях с нашими передовыми карбидными решениями CVD.


SEM Данные пленки CVD SIC

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Основные физические свойства покрытия CVD SIC

Основные физические свойства покрытия CVD SIC
Свойство
Типичное значение
Кристаллическая структура
FCC β -фазовый поликристаллический, в основном (111) ориентированный
SIC Плотность покрытия
3.21 г/см=
SIC COTPATE. Твердость
2500 Vickers Твердость (нагрузка 500 г)
Размер зерна
2 ~ 10 мм
Химическая чистота
99,99995%
Теплоемкость
640 J · кг-1· K-1
Температура сублимации
2700 ℃
Прочность на гибкость
415 МПа RT 4-очка
Модуль молодых
430 GPA 4PT Bend, 1300 ℃
Теплопроводность
300 Вт · м-1· K-1
Тепловое расширение (CTE)
4,5 × 10-6K-1

Это полупроводникCVD SIC FOCUS FOUCT SHOP Продукты Продукты:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

Горячие Теги: CVD SIC Focus Ring
Отправить запрос
Контакты
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, округ Вуйи, город Цзиньхуа, провинция Чжэцзян, Китай

  • Электронная почта

    anny@veteksemi.com

По вопросам о покрытии из карбида кремния, покрытии из карбида тантала, специальном графите или прайс-листе оставьте нам свой адрес электронной почты, и мы свяжемся с вами в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept