Процесс травления ICP/PSS

VeTek Semiconductor ICPPSS (очистка фоторезиста с индуктивно связанной плазмой) для процесса травления. Носитель пластины специально разработан для удовлетворения строгих требований процессов травления полупроводниковой промышленности. Благодаря своим расширенным функциям он обеспечивает оптимальную производительность, эффективность и надежность на протяжении всего процесса травления.

Преимущество датчиков процесса травления VeTek Semiconductor ICP/PSS:

Повышенная химическая совместимость. Носитель пластины изготовлен из материалов, которые демонстрируют превосходную химическую совместимость с химическими составами процесса травления. Это обеспечивает совместимость с широким спектром травителей, средств для снятия резиста и чистящих растворов, сводя к минимуму риск химических реакций или загрязнения.

Устойчивость к высоким температурам: держатель пластины разработан так, чтобы выдерживать высокие температуры, возникающие в процессе травления. Он сохраняет структурную целостность и механическую прочность, предотвращая деформацию или повреждение даже в экстремальных температурных условиях.

Превосходная однородность травления: держатель имеет тщательно продуманную конструкцию, которая способствует равномерному распределению травителей и газов по поверхности пластины. Это приводит к стабильной скорости травления и высококачественным однородным рисункам, что необходимо для достижения точных и надежных результатов травления.

Превосходная стабильность пластины: держатель оснащен надежным механизмом фиксации пластины, который обеспечивает стабильное позиционирование и предотвращает перемещение или проскальзывание пластины во время процесса травления. Это гарантирует точные и повторяемые рисунки травления, сводя к минимуму дефекты и потери производительности.

Совместимость с чистыми помещениями: держатель пластин разработан с учетом строгих стандартов чистых помещений. Он отличается низким образованием частиц и превосходной чистотой, предотвращая любое загрязнение частицами, которое может поставить под угрозу качество и производительность процесса травления. Содержание примесей составляет менее 5 частей на миллион.

Прочная и долговечная конструкция: багажник изготовлен с использованием высококачественных материалов, известных своей прочностью и длительным сроком службы. Он может выдерживать многократное использование и строгие процессы очистки без ущерба для своих характеристик или структурной целостности.

Настраиваемый дизайн: мы предлагаем настраиваемые варианты для удовлетворения конкретных требований клиентов. Носитель можно адаптировать к пластинам разных размеров, толщины и характеристик процесса, обеспечивая совместимость с различным оборудованием и процессами травления.

Оцените надежность и производительность нашего держателя пластин для процесса травления ICP/PSS, разработанного для оптимизации процесса травления в полупроводниковой промышленности. Его улучшенная химическая совместимость, устойчивость к высоким температурам, превосходная однородность травления, превосходная стабильность пластин, совместимость с чистыми помещениями, прочная конструкция и настраиваемый дизайн делают его идеальным выбором для ваших задач травления.

Травильная пластина PSS Травильная пластина ICP Датчик травления ICP