CVD SIC Cotating Graphite Repector

CVD SIC Cotating Graphite Repector специально предназначен для высокопроизводительного производства в полупроводниковой промышленности. Графитный субстрат покрыт слоем SIC высокой чистоты с помощью процесса сердечно-сосудистых заболеваний, который обладает превосходной высокой температурной сопротивлением, коррозионной стойкостью и сопротивлением окислению и может долго работать в условиях высокой температуры и вакуумных сред. Этот пьедестал широко используется в MOCVD, PECVD, PVD и другом оборудовании для поддержки обработки и обработки пластин и других высокопроизводительных материалов.

Основные преимущества:

● Высокая стабильность температуры: Сам графит высокой чистоты обладает превосходной тепловой стабильностью. После покрытия SIC он может выдерживать более высокую температуру экстремальные среды и подходит для высокотемпературных процессов при полупроводниковой обработке.

● Уголионное сопротивление: Покрытие CVD SIC устойчиво к коррозии кислоты и щелочи и может иметь длительный срок службы в процессе сердечно -сосудистых заболеваний.

● Высокийустойчивость: Покрытие CVD SIC имеет превосходную твердость, устойчивость к царапинам и устойчивость к окислению при высоких температурах для поддержания стабильности материала.

● Хорошая теплопроводность: Комбинация графитового субстрата и CVD SIC Coating Pemptor заставляет основание имеет превосходную теплопроводность, которая может эффективно проводить тепло и повысить эффективность производства.

Технические характеристики продукта:

● Материал: Graphite Substrate + CVD SIC Coter

● Толщина покрытия: может быть настроен в соответствии с потребностями клиента

● Применимая среда: Высокая температура, вакуум, коррозийная газовая среда

Индивидуальная служба:

Мы предоставляем высокоостренные услуги для удовлетворения потребностей различного оборудования и процессов клиентов. Согласно конкретному применению клиента, могут быть предоставлены графитовые основания с различной толщиной покрытия, поверхностными обработками и точностью.

Veteksemi всегда работал в индустрии карбида CVD-карбидов и имеет ведущую отрасль в отрасли CVD SIC-базовые базы и уровень производства. Если вам нужна дополнительная информация о продукте или индивидуальные услуги, пожалуйста, свяжитесь с Vetek Semiconductor, мы от всего сердца предоставим вам профессиональную поддержку.

SEM Данные о кристаллической структуре пленки CVD SIC:

Это полупроводникCVD SIC покрытие графит Graphite Productor Shops: